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基于络合物薄膜的电存储器件及单面纳米结构金膜的研究

摘要第1-9页
Abstract第9-11页
Ⅰ 基于络合物薄膜的电存储器件第11-44页
 第一章 电存储器件简介第12-18页
   ·信息技术与电存储器第12-13页
   ·传统硅基电子器件及其即将面临的问题第13页
   ·解决措施的探索第13-14页
     ·改进硅基器件的制备工艺流程第13-14页
     ·开发新材料、新工艺制备电子器件第14页
   ·一次写入多次读取电存储器件第14-16页
   ·WORM电存储器件的基本要求第16页
   ·电存储器件的开关模型第16-17页
     ·Filaments模型第16-17页
     ·离子扩散第17页
   ·本文的工作第17-18页
 第二章 器件的制备与测试第18-25页
   ·实验设计第18-19页
     ·设计思路第18页
     ·分子选择第18-19页
   ·器件结构第19-20页
     ·基底第20页
     ·顶、底电极第20页
     ·介质层第20页
   ·实验过程第20-22页
     ·制备流程(1)第20-21页
     ·制备流程(2)第21页
     ·成分分析第21页
     ·形貌表征第21页
     ·电学性能测试第21-22页
   ·主要实验材料第22-23页
   ·主要实验仪器第23-25页
 第三章 结果分析与讨论第25-42页
   ·以DMMM-Na/H_2O溶液与Cu膜反应制备介质层第25-28页
     ·一次写入多次读取的电存储性质第25-26页
     ·固-液界面反应机理第26页
     ·电存储机制第26-27页
     ·存在的缺陷第27-28页
   ·退火温度对器件性能的影响第28-29页
   ·固-液界面反应前预处理铜电极第29-31页
   ·反应时间的选择第31-32页
   ·Al/DMMM-Cu/Cu器件的完整制备流程第32页
   ·介质层薄膜的表征第32-33页
   ·Al/DMMM-Cu/Cu器件的一些统计数据第33-34页
   ·阈值电压不一致的原因分析第34-35页
   ·基于上述制备流程的改进措施第35-36页
     ·溶质第35-36页
     ·溶剂第36页
     ·反应深度的控制第36页
   ·以KSCN/EtOH溶液与Cu膜反应制备介质层第36-38页
     ·制备工艺第36页
     ·介质层薄膜的表征第36-37页
     ·一次写入多次读取的电存储性质第37-38页
   ·一致性测试第38页
   ·稳定性测试第38-40页
   ·跃迁过程表征第40-42页
 第四章 总结与展望第42-44页
   ·全文总结第42页
   ·展望第42-44页
Ⅱ单面纳米结构金膜第44-71页
 第一章 纳米材料简介第45-50页
   ·纳米尺度及纳米材料第45-46页
   ·纳米材料的特殊性质第46-48页
     ·量子效应第46页
     ·小尺寸效应第46-47页
     ·表面效应第47页
     ·界面效应第47-48页
     ·库仑阻塞效应第48页
     ·量子隧穿效应第48页
     ·介电限域效应第48页
   ·纳米金材料第48-49页
   ·本文的工作第49-50页
 第二章 制备及表征单面纳米结构金膜第50-57页
   ·实验设计第50-53页
     ·基本思路第50页
     ·基底的选择第50页
     ·金属及化学腐蚀试剂的选择第50-53页
     ·小结第53页
   ·实验流程第53-54页
     ·制备第53页
     ·形貌表征第53-54页
     ·可见光谱测试第54页
     ·拉曼光谱测试第54页
   ·主要实验材料第54-56页
   ·实验仪器设备第56-57页
 第三章 结果分析及讨论第57-69页
   ·表面形貌分析第57-58页
   ·剖面分析第58页
   ·可见光谱分析第58-59页
   ·纳米孔的形成机理第59-62页
     ·薄膜的厚度第59-60页
     ·退火过程铜膜成分的变化第60-61页
     ·模板的产生与纳米孔的形成第61-62页
   ·退火条件的选择第62-65页
     ·退火温度的影响第62页
     ·退火时间的影响第62-64页
     ·纳米孔的统计第64-65页
     ·小结第65页
   ·拉曼光谱测试第65-69页
     ·有机分子的选择第65页
     ·金膜的拉曼光谱分析第65-67页
     ·对甲基苯硫酚拉曼光谱分析第67页
     ·4,4'-联吡啶拉曼光谱分析第67-68页
     ·小结第68-69页
 第四章 总结与展望第69-71页
   ·全文总结第69页
   ·展望第69-71页
参考文献第71-78页
硕士期间发表的论文及专利第78-79页
致谢第79-80页

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