摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-8页 |
第一章 绪论 | 第8-20页 |
·传感器及传感器技术 | 第8-16页 |
·化学传感器及其分类 | 第11-13页 |
·电化学传感器 | 第11页 |
·光化学传感器 | 第11-12页 |
·质量式化学传感器 | 第12页 |
·热量式化学传感器 | 第12-13页 |
·场效应管化学传感器 | 第13页 |
·气体传感器 | 第13页 |
·气体传感器的分类 | 第13-16页 |
·金属氧化物半导体气体传感器 | 第13-14页 |
·电化学型气体传感器 | 第14-15页 |
·固体电解质气体传感器 | 第15页 |
·接触燃烧式气体传感器 | 第15页 |
·光化学型气体传感器 | 第15-16页 |
·高分子气体传感器 | 第16页 |
·光波导传感器 | 第16-20页 |
·光波导化学传感器的发展状况 | 第16-17页 |
·光波导化学传感器的特点 | 第17页 |
·光波导化学传感器的分类 | 第17-20页 |
·表面等离子体共振型光波导传感器 | 第17-18页 |
·平面玻璃光波导传感器 | 第18-20页 |
第二章 光波导理论 | 第20-39页 |
·光波导概述 | 第20页 |
·光的反射定律、折射定律和全反射 | 第20-22页 |
·平面光波导及其光的传导模式 | 第22-28页 |
·平面波导的模式 | 第22-23页 |
·平面波导的导膜 | 第23-25页 |
·Goos-Hanchen | 第25-28页 |
·倏逝波传感原理 | 第28-30页 |
·平面光波导的耦合 | 第30-33页 |
·棱镜波导耦合 | 第30-32页 |
·光栅耦合法 | 第32-33页 |
·光波导化学传感器的工作原理 | 第33-34页 |
·SnO_2的掺杂研究 | 第34-35页 |
·挥发性有机物的特点 | 第35-36页 |
·氯苯气体的危害性 | 第35页 |
·苯类气体的危害性 | 第35-36页 |
·酸性气体的危害性 | 第36-37页 |
·标准气体的配制 | 第37页 |
·挥发性有机气体的配制 | 第37页 |
·酸性气体的配制 | 第37页 |
·论文研究内容 | 第37-39页 |
第三章 SnO_2-La_2O_3复合膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件的制备及其气敏性研究 | 第39-55页 |
·前言 | 第39页 |
·实验部分 | 第39-40页 |
·试剂与仪器 | 第39-40页 |
·SnO_2-La_2O_3复合膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件的制备 | 第40页 |
·结果与讨论 | 第40-53页 |
·SnO_2-La_2O_3复合薄膜的XRD谱图分析 | 第40-41页 |
·SnO_2-La_2O_3复合薄膜的红外光谱分析 | 第41-42页 |
·薄膜中La_2O_3的掺杂比例 | 第42-43页 |
·气敏元件的传感原理 | 第43-44页 |
·敏感元件对挥发性有机气体的气敏性研究 | 第44-49页 |
·元件对酸性气体的气敏性研究 | 第49-53页 |
·小结 | 第53-55页 |
第四章 SnO_2/Sb(ATO)复合膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件的制备及其气敏性研究 | 第55-67页 |
·前言 | 第55页 |
·实验部分 | 第55-56页 |
·试剂与仪器 | 第55-56页 |
·SnO_2-Sb复合膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件的制备 | 第56页 |
·结果与讨论 | 第56-65页 |
·SnO_2-Sb复合薄膜的XRD谱图分析 | 第56-57页 |
·薄膜中Sb的掺杂比例 | 第57-59页 |
·元件对挥发性有机气体的气敏性研究 | 第59-62页 |
·元件对酸性气体的气敏性研究 | 第62-65页 |
·小结 | 第65-67页 |
第五章 SnO_2-ZnO复合膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件的制备及其气敏性研究 | 第67-79页 |
·前言 | 第67页 |
·实验部分 | 第67-68页 |
·试剂与仪器 | 第67-68页 |
·SnO_2-ZnO复合膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件的制备 | 第68页 |
·结果与讨论 | 第68-78页 |
·XRD光谱分析 | 第68-69页 |
·薄膜中ZnO的掺杂比例 | 第69-70页 |
·气敏元件的传感原理 | 第70-71页 |
·元件对挥发性有机气体的气敏性研究 | 第71-74页 |
·传感元件对酸性气体的气敏性 | 第74-78页 |
·气敏机理 | 第74页 |
·透光率变化对输出光强度的影响 | 第74-75页 |
·元件的气敏性能 | 第75-78页 |
·小结 | 第78-79页 |
第六章 结论 | 第79-81页 |
参考文献 | 第81-89页 |
硕士研究生期间论文发表情况 | 第89-90页 |
致谢 | 第90-92页 |