硅基波导谐振器的理论与实验研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-6页
目录	第6-7页
第一章 绪论	第7-12页
·引言	第7-9页
·集成光学陀螺的发展历史	第7-8页
·集成光学陀螺的应用及研究现状	第8-9页
·谐振器的应用及研究现状	第9-10页
·本论文的主要工作	第10-12页
第二章 谐振器的理论分析	第12-26页
·Sagnac效应	第12-13页
·谐振器的基本原理	第13-16页
·谐振器的重要参数	第16-19页
·谐振器的谐振特性分析	第19-23页
·谐振腔基本结构参数对谐振特性的影响	第19-22页
·光源线宽对谐振特性的影响	第22-23页
·谐振器的偏振特性分析	第23-26页
第三章 谐振器的研制	第26-40页
·谐振器的设计方案	第26-36页
·单模波导设计	第27-31页
·谐振腔的尺寸选取	第31-32页
·定向耦合器的优化设计	第32-36页
·硅基二氧化硅波导环形谐振器的制备	第36-40页
·波导材料的选择	第36-37页
·硅基二氧化硅波导的制作工艺	第37-40页
第四章 实验研究	第40-45页
·谐振器的谐振特性测试系统	第41-42页
·系统结构	第41页
·实验器件分析	第41-42页
·谐振特性测试与分析	第42-45页
第五章 总结	第45-47页
致谢	第47-48页
参考文献	第48-49页