| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 光互连与硅基光子学 | 第10-13页 |
| 1.2 硅基亚波长结构的出现和发展 | 第13-17页 |
| 1.3 本论文的主要内容和创新点 | 第17-19页 |
| 2 硅基亚波长结构器件的设计理论与实验方法 | 第19-39页 |
| 2.1 基于绝缘体上硅材料的光波导 | 第19-21页 |
| 2.2 硅基波导的理论基础 | 第21-27页 |
| 2.3 器件的反向设计方法 | 第27-35页 |
| 2.4 硅基光波导的制作工艺及测试方法简介 | 第35-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 3 基于类光子晶体亚波长结构的3dB功分器 | 第39-58页 |
| 3.1 类光子晶体亚波长结构 | 第39-44页 |
| 3.2 基于类光子晶体亚波长结构的3dB功率分束器 | 第44-54页 |
| 3.3 类光子晶体超结构的迟滞效应不敏感特性验证 | 第54-57页 |
| 3.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 4 超集成的星型光交叉连接器 | 第58-75页 |
| 4.1 光交叉连接器的研究现状 | 第58-61页 |
| 4.2 基于类光子晶体亚波长结构的星型光交叉连接器 | 第61-74页 |
| 4.3 本章小结 | 第74-75页 |
| 5 超集成超快光微分器 | 第75-86页 |
| 5.1 光微分器的研究现状 | 第75-77页 |
| 5.2 基于类光子晶体结构的超集成超快光微分器 | 第77-84页 |
| 5.3 本章小结 | 第84-86页 |
| 6 总结与展望 | 第86-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-99页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第99-100页 |
| 附录2 攻读博士学位期间申请专利 | 第100-101页 |