| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 引言 | 第12-15页 |
| 1.2 临近空间高速目标等离子体电磁科学实验研究装置 | 第15-19页 |
| 1.3 远红外激光干涉仪和静电探针国内外研究现状 | 第19-23页 |
| 1.3.1 远红外激光器发展历史及现状 | 第19-21页 |
| 1.3.2 静电探针理论国内外研究现状 | 第21-23页 |
| 1.4 本课题研究内容与意义 | 第23-25页 |
| 第2章 HCN激光干涉仪原理及静电探针原理 | 第25-43页 |
| 2.1 电磁波在等离子体中的传播 | 第25-29页 |
| 2.2 HCN干涉仪测量原理 | 第29-35页 |
| 2.3 静电探针原理 | 第35-41页 |
| 2.3.1 无磁场条件下理想单探针伏安特性曲线 | 第35-37页 |
| 2.3.2 双探针、三探针及马赫探针原理 | 第37-41页 |
| 2.3.3 探针修正理论 | 第41页 |
| 2.4 本章小结 | 第41-43页 |
| 第3章 三道HCN激光干涉仪的研制 | 第43-81页 |
| 3.1 光源频率的选择 | 第43-46页 |
| 3.2 HCN激光器的优化 | 第46-52页 |
| 3.2.1 HCN激光器原理 | 第46-47页 |
| 3.2.2 HCN激光器结构 | 第47-52页 |
| 3.3 高速转动光栅系统的研制及测试 | 第52-59页 |
| 3.3.1 高速转动光栅的设计 | 第53-56页 |
| 3.3.2 高速转动光栅的台面测试 | 第56-59页 |
| 3.4 分束片和窗口材料选择及测试 | 第59-62页 |
| 3.4.1 水晶片 | 第59-60页 |
| 3.4.2 金属栅网 | 第60-62页 |
| 3.5 HCN激光干涉仪光学设计 | 第62-67页 |
| 3.5.1 高斯光束 | 第62-63页 |
| 3.5.2 光路计算 | 第63-66页 |
| 3.5.3 光路系统 | 第66-67页 |
| 3.6 HCN激光干涉仪机械设计 | 第67-73页 |
| 3.6.1 HCN干涉仪光学平台设计 | 第68-69页 |
| 3.6.2 HCN干涉仪光学支架设计 | 第69-73页 |
| 3.7 远红外探测器综述及选择 | 第73-77页 |
| 3.7.1 远红外探测器综述 | 第73-74页 |
| 3.7.2 远红外探测器评价参数 | 第74-75页 |
| 3.7.3 HCN探测器选型 | 第75-77页 |
| 3.8 相位差计 | 第77-80页 |
| 3.9.本章小结 | 第80-81页 |
| 第4章 静电探针的研制 | 第81-100页 |
| 4.1 快动探针支架设计 | 第81-96页 |
| 4.1.1 探针支架机械设计 | 第81-85页 |
| 4.1.2 探针支架应力分析 | 第85-87页 |
| 4.1.3 探针支架热分析 | 第87-92页 |
| 4.1.4 探针运动机构测试 | 第92-96页 |
| 4.2 探针探头设计 | 第96-98页 |
| 4.3 探针电源、电路系统 | 第98-99页 |
| 4.4 本章小结 | 第99-100页 |
| 第5章 HCN干涉仪和静电探针的台面测试 | 第100-113页 |
| 5.1 感应耦合等离子体源 | 第100-104页 |
| 5.1.1 真空室 | 第100-101页 |
| 5.1.2 射频电源、匹配器和天线 | 第101-103页 |
| 5.1.3 水冷供气等辅助系统 | 第103-104页 |
| 5.2 HCN干涉仪台面测试实验 | 第104-108页 |
| 5.2.2 使用wedge测试干涉仪系统 | 第105-106页 |
| 5.2.3 使用ICP等离子体源测试干涉仪系统 | 第106-108页 |
| 5.2.4 使用比相器和离线程序计算等离子体电子密度 | 第108页 |
| 5.3 探针台面测试 | 第108-112页 |
| 5.3.1 台面测试探针研制 | 第109-110页 |
| 5.3.2 台面电源及探针电路 | 第110页 |
| 5.3.3 实验结果比较 | 第110-112页 |
| 5.4 本章小结 | 第112-113页 |
| 第6章 总结与展望 | 第113-116页 |
| 6.1 探针台面测试 | 第113-115页 |
| 6.2 展望 | 第115-116页 |
| 参考文献 | 第116-123页 |
| 致谢 | 第123-125页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第125-126页 |