超精密恒温气浴技术研究及其应用
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题来源、研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-14页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 2 需求分析与方案设计 | 第15-30页 |
| 2.1 微环境控制系统的总体需求 | 第15-17页 |
| 2.2 恒温腔室整体方案的设计 | 第17-25页 |
| 2.3 工件台气浴单元的方案原理 | 第25-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 3 流量分配腔的结构参数设计 | 第30-46页 |
| 3.1 计算流体力学简介 | 第30-31页 |
| 3.2 流量分配腔结构参数单一因素研究 | 第31-36页 |
| 3.3 流量分配腔结构参数的正交试验研究 | 第36-41页 |
| 3.4 气浴单元流量分配板槽孔参数优化设计 | 第41-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 滤布参数及均匀流道的设计计算 | 第46-55页 |
| 4.1 滤布参数的设计计算 | 第46-50页 |
| 4.2 滤布CFD模型参数 | 第50-52页 |
| 4.3 均匀流体通道的仿真设计 | 第52-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 5 实验 | 第55-64页 |
| 5.1 实验装置与实验条件 | 第55-57页 |
| 5.2 工件台气浴单元气浴均匀性实验 | 第57-59页 |
| 5.3 恒温腔室内部温度、压力稳定性实验 | 第59-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 6 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 全文总结 | 第64-65页 |
| 6.2 研究展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
