石英玻璃超精密磨削加工表面完整性研究
| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第7-18页 |
| 1.1 选题背景 | 第7-10页 |
| 1.1.1 石英玻璃的特性、应用 | 第7-8页 |
| 1.1.2 石英玻璃的制备工艺 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-17页 |
| 1.2.1 石英玻璃的加工方法 | 第10-15页 |
| 1.2.2 表面完整性的检测方法 | 第15-17页 |
| 1.3 课题来源及主要研究内容 | 第17-18页 |
| 2 石英玻璃超精密磨削实验及表面损伤检测 | 第18-30页 |
| 2.1 磨削实验 | 第18-20页 |
| 2.1.1 实验样品 | 第18-19页 |
| 2.1.2 磨床与砂轮 | 第19-20页 |
| 2.2 表面损伤检测方法 | 第20-23页 |
| 2.2.1 光学显微镜观测 | 第20-21页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜观测 | 第21-22页 |
| 2.2.3 表面轮廓仪观测 | 第22-23页 |
| 2.3 表面损伤检测结果及分析 | 第23-28页 |
| 2.3.1 砂轮粒度对表面形貌影响 | 第23-28页 |
| 2.3.2 砂轮粒度对表面粗糙度影响 | 第28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-30页 |
| 3 石英玻璃超精密磨削亚表面损伤检测 | 第30-46页 |
| 3.1 亚表面损伤检测方法 | 第30-35页 |
| 3.1.1 角度截面显微观测法 | 第30-34页 |
| 3.1.2 透射电子显微镜观测法 | 第34-35页 |
| 3.2 亚表面损伤检测结果及分析 | 第35-38页 |
| 3.2.1 砂轮粒度对亚表面损伤深度影响 | 第35-38页 |
| 3.2.2 砂轮粒度与亚表面损伤形式 | 第38页 |
| 3.3 损伤层力学特性分析 | 第38-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 4 材料去除机理分析与亚表面损伤深度预测模型 | 第46-57页 |
| 4.1 材料去除机理分析 | 第46-49页 |
| 4.1.1 实验现象观察 | 第46页 |
| 4.1.2 理论计算分析 | 第46-49页 |
| 4.2 亚表面裂纹深度预测 | 第49-56页 |
| 4.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 硕士期间发表的学术论文情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
