微槽/微孔电化学抛光技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 注释表 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 微槽/微孔结构的应用及加工技术 | 第13-18页 |
| 1.1.1 微槽/微孔结构的应用 | 第13-14页 |
| 1.1.2 微槽结构的加工 | 第14-16页 |
| 1.1.3 微孔结构的加工 | 第16-18页 |
| 1.2 微结构抛光技术 | 第18-22页 |
| 1.2.1 激光抛光 | 第18-20页 |
| 1.2.2 磨料射流抛光 | 第20-21页 |
| 1.2.3 超声抛光 | 第21-22页 |
| 1.3 电化学抛光技术 | 第22-24页 |
| 1.4 课题研究意义及主要研究内容 | 第24-25页 |
| 1.4.1 课题研究意义 | 第24页 |
| 1.4.2 本文主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 线电极电化学抛光原理 | 第25-33页 |
| 2.1 电化学抛光基本原理与特点 | 第25-26页 |
| 2.2 线电极电化学抛光原理 | 第26-32页 |
| 2.2.1 线电极电化学抛光原理 | 第26-27页 |
| 2.2.2 电化学抛光阳极溶解过程 | 第27-30页 |
| 2.2.3 线电极电化学抛光材料去除量 | 第30-32页 |
| 2.3 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 线电极电化学抛光电场仿真 | 第33-40页 |
| 3.1 抛光区域内电场模型的建立 | 第33页 |
| 3.2 仿真结果与分析 | 第33-39页 |
| 3.2.1 电极移动对抛光的影响 | 第33-35页 |
| 3.2.2 电极形状对抛光的影响 | 第35-38页 |
| 3.2.3 线电极直径对抛光的影响 | 第38-39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 微槽线电极电化学抛光试验研究 | 第40-58页 |
| 4.1 试验系统 | 第40-46页 |
| 4.1.1 总体设计 | 第40页 |
| 4.1.2 电极装夹装置 | 第40-43页 |
| 4.1.3 电极运动及控制系统 | 第43-44页 |
| 4.1.4 电解液系统 | 第44-45页 |
| 4.1.5 超短脉冲电源 | 第45页 |
| 4.1.6 试验监测系统 | 第45页 |
| 4.1.7 隔振系统 | 第45-46页 |
| 4.2 试验步骤 | 第46页 |
| 4.3 试验结果与分析 | 第46-55页 |
| 4.3.1 线电极直径对抛光效果的影响 | 第46-47页 |
| 4.3.2 抛光电压对抛光效果的影响 | 第47-48页 |
| 4.3.3 脉冲周期对抛光效果的影响 | 第48-50页 |
| 4.3.4 占空比对抛光效果的影响 | 第50-51页 |
| 4.3.5 电极移动速度对抛光效果的影响 | 第51-53页 |
| 4.3.6 抛光间隙对抛光效果的影响 | 第53-54页 |
| 4.3.7 方形电极、线电极抛光对比试验 | 第54-55页 |
| 4.4 微槽结构的抛光 | 第55-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-58页 |
| 第五章 微孔电化学抛光研究 | 第58-69页 |
| 5.1 微孔孔口抛光原理 | 第58页 |
| 5.2 试验系统 | 第58-63页 |
| 5.2.1 专用冲液夹具设计 | 第59-61页 |
| 5.2.2 电解液循环装置 | 第61-62页 |
| 5.2.3 抛光电源 | 第62-63页 |
| 5.2.4 抛光机床 | 第63页 |
| 5.3 微孔孔口电化学抛光工艺研究 | 第63-68页 |
| 5.3.1 微孔孔口电化学抛光参数试验 | 第63-64页 |
| 5.3.2 试验结果与分析 | 第64-68页 |
| 5.4 本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-70页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第69页 |
| 6.2 未来研究工作展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第75页 |
