| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-33页 |
| 1.1 类金刚石薄膜介绍 | 第11-16页 |
| 1.1.1 类金刚石薄膜研究发展趋势 | 第11-13页 |
| 1.1.2 DLC薄膜的常见制备方法 | 第13-16页 |
| 1.2 多层类金刚石薄膜的研究 | 第16-23页 |
| 1.2.1 纳米多层薄膜的简介 | 第16-17页 |
| 1.2.2 纳米多层膜的增韧效应 | 第17-20页 |
| 1.2.3 纳米多层薄膜的超硬现象 | 第20-23页 |
| 1.3 掺杂类金刚石薄膜的研究 | 第23-24页 |
| 1.4 DLC固液复合润滑研究 | 第24-26页 |
| 1.5 论文的选题、研究思路和研究内容 | 第26-28页 |
| 1.5.1 本课题的研究思想 | 第26页 |
| 1.5.2 本课题的研究内容 | 第26-28页 |
| 参考文献 | 第28-33页 |
| 第二章 Si掺杂DLC单层薄膜的制备及其机械性能的研究 | 第33-45页 |
| 2.1 引言 | 第33-34页 |
| 2.2 实验部分 | 第34页 |
| 2.2.1 掺Si类金刚石薄膜的制备 | 第34页 |
| 2.2.2 Si掺杂的DLC单层薄膜结构性能表征 | 第34页 |
| 2.3 结果和讨论 | 第34-40页 |
| 2.3.1 XPS元素含量分析 | 第34-35页 |
| 2.3.2 薄膜拉曼光谱分析 | 第35-37页 |
| 2.3.3 薄膜硬度和内应力测试 | 第37-38页 |
| 2.3.4 薄膜的摩擦学性能研究 | 第38-40页 |
| 2.4 本章小结 | 第40-42页 |
| 参考文献 | 第42-45页 |
| 第三章 Si掺杂DLC多层薄膜的制备及其机械性能的研究 | 第45-57页 |
| 3.1 引言 | 第45-46页 |
| 3.2 实验部分 | 第46-47页 |
| 3.2.1 Si掺杂DLC多层薄膜制备 | 第46-47页 |
| 3.2.2 多层膜性能表征 | 第47页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第47-53页 |
| 3.3.1 薄膜微观结构表征 | 第47-48页 |
| 3.3.2 多层膜内应力测定 | 第48-49页 |
| 3.3.3 多层薄膜硬度的测定 | 第49-51页 |
| 3.3.4 多层薄膜的摩擦学性能测试 | 第51-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 第四章 PAO中添加Ni和WS_2纳米润滑剂对Si掺杂的DLC单层和多层薄膜摩擦学性能的影响 | 第57-71页 |
| 4.1 引言 | 第57-58页 |
| 4.2 实验部分 | 第58-60页 |
| 4.2.1 实验准备材料 | 第58-59页 |
| 4.2.2 DLC与Ni和WS_2纳米颗粒组成的固液复合润滑系统的摩擦学性能表征 | 第59-60页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第60-67页 |
| 4.3.1 Si掺杂DLC单层薄膜与PAO、PAO+Ni和PAO+WS_2组成固液润滑系统的摩擦学性能研究 | 第60页 |
| 4.3.2 Si掺杂DLC多层薄膜与PAO、PAO+Ni和PAO+WS_2组成固液润滑系统的摩擦学性能研究 | 第60-65页 |
| 4.3.3 磨痕XPS及机理分析 | 第65-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 第五章 结论与展望 | 第71-73页 |
| 5.1 主要结论 | 第71页 |
| 5.2 进一步研究设想 | 第71-73页 |
| 硕士期间完成的论文 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
