| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| ·等离子体概述 | 第9-10页 |
| ·大气压辉光放电产生方式及应用 | 第10-17页 |
| ·电晕放电与应用 | 第11-12页 |
| ·介质阻挡放电与应用 | 第12-14页 |
| ·大气压射频容性耦合放电及其应用 | 第14-17页 |
| ·研究背景和内容 | 第17-21页 |
| 2 实验装置及大气压射频冷等离子体发射光谱诊断原理 | 第21-32页 |
| ·射频辉光放电实验装置 | 第21-26页 |
| ·射频辉光放电发射光谱诊断原理 | 第26-32页 |
| ·氧原子的光化线强度测定 | 第27-28页 |
| ·玻耳兹曼斜率法测量转动温度 | 第28-30页 |
| ·顺序带组法测量振动温度原理 | 第30-32页 |
| 3 大气压氩/氧射频辉光放电 | 第32-60页 |
| ·大气压氩气射频容性放电的击穿机制 | 第32-35页 |
| ·实验设置 | 第32页 |
| ·主要结论及讨论 | 第32-35页 |
| ·氩/氧放电的实验现象及讨论 | 第35-36页 |
| ·电学特性分析 | 第36-39页 |
| ·电子密度和电子温度的估算 | 第39-42页 |
| ·光谱分析 | 第42-48页 |
| ·氩/氧射频等离子体中氧原子的光化线强度测定 | 第42-43页 |
| ·氩/氧辉光放电的气体温度及炭黑的灰化效果 | 第43-48页 |
| ·对氩气/氧气等离子体源的设计方案及放电特性的进一步分析 | 第48-58页 |
| ·放电结构的设计和改进 | 第48-50页 |
| ·氧气在氩等离子体中的掺杂对射频辉光放电特性的影响 | 第50-58页 |
| ·小结 | 第58-60页 |
| 4 大气压氩/氮射频辉光放电的初步研究 | 第60-66页 |
| ·不同放电模式下混合气体的放电图像 | 第60-61页 |
| ·氩/氮放电的电压电流波形图 | 第61-62页 |
| ·氩/氮射频辉光放电的发射光谱诊断 | 第62-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
