液体约束微大气等离子体区域选择性抛光的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 研究背景 | 第8页 |
| 1.2 本课题的研究目的及意义 | 第8-9页 |
| 1.3 国内外研究现状及分析 | 第9-14页 |
| 1.3.1 超光滑表面加工方法的研究现状 | 第9-12页 |
| 1.3.2 大气等离子体抛光的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3.3 研究动态分析 | 第13-14页 |
| 1.4 本课题主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 大气等离子体加工系统原理及改进 | 第16-30页 |
| 2.1 系统原理 | 第16-20页 |
| 2.1.1 等离子体的物理化学特性 | 第16-17页 |
| 2.1.2 等离子体加工表面的反应机理 | 第17-18页 |
| 2.1.3 大气等离子体加工系统简介 | 第18-20页 |
| 2.2 等离子炬的改进设计 | 第20-24页 |
| 2.2.1 加工原理的改进 | 第20-21页 |
| 2.2.2 原系统等离子体炬的加工 | 第21-22页 |
| 2.2.3 新炬的设计 | 第22-24页 |
| 2.3 气液固多相流建模仿真 | 第24-29页 |
| 2.3.1 FLUENT软件的介绍 | 第25-26页 |
| 2.3.2 平板电极放电的仿真 | 第26-27页 |
| 2.3.3 同轴电极放电炬的仿真 | 第27-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 液体约束等离子体加工实验验证 | 第30-53页 |
| 3.1 实验方案的设计 | 第30-31页 |
| 3.2 以水为约束液体时的加工实验 | 第31-35页 |
| 3.2.1 平板电极放电加工实验 | 第31-34页 |
| 3.2.2 同轴电极炬射流放电实验 | 第34-35页 |
| 3.2.3 水膜约束实验加工中存在的问题和结论 | 第35页 |
| 3.3 以液体石蜡为约束的加工实验 | 第35-40页 |
| 3.3.1 液体石蜡的简介 | 第36页 |
| 3.3.2 液体石蜡约束实验 | 第36-39页 |
| 3.3.3 液体石蜡约束加工实验机理说明 | 第39-40页 |
| 3.4 液蜡约束实验可控性验证 | 第40-43页 |
| 3.4.1 短时可重复性实验 | 第40-41页 |
| 3.4.2 小扰动稳定性试验 | 第41-43页 |
| 3.5 液体约束加工中去除量的变化 | 第43-47页 |
| 3.5.1 定约束直径时去除量随时间变化特性 | 第43-46页 |
| 3.5.2 定时变约束直径时去除量的变化特性 | 第46-47页 |
| 3.6 液体约束对加工质量的影响 | 第47-51页 |
| 3.6.1 液体约束对加工分辨率的影响 | 第47-50页 |
| 3.6.2 液体约束加工对表面质量的影响 | 第50-51页 |
| 3.7 本章小结 | 第51-53页 |
| 第4章 去除函数模型的建立与验证 | 第53-62页 |
| 4.1 工艺参数的选择 | 第53-54页 |
| 4.2 实验方案的设计 | 第54-56页 |
| 4.3 去除函数公式的拟合 | 第56-60页 |
| 4.3.1 拟合方法 | 第57-59页 |
| 4.3.2 公式拟合 | 第59-60页 |
| 4.4 公式验证 | 第60-61页 |
| 4.5 误差分析 | 第61页 |
| 4.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
