| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第19-31页 |
| 1.1 课题来源与研究意义 | 第19-20页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第19页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第19-20页 |
| 1.2 微定位平台的研究现状 | 第20-31页 |
| 1.2.1 微定位平台驱动器的研究现状 | 第20-25页 |
| 1.2.2 微定位平台传动机构的研究现状 | 第25-31页 |
| 2 超磁致伸微定位平台驱动器的结构优化设计 | 第31-43页 |
| 2.1 磁致伸缩材料 | 第31-32页 |
| 2.2 超磁致伸缩材料的优点 | 第32-33页 |
| 2.3 超磁致伸缩材料的磁致伸缩机理 | 第33-34页 |
| 2.4 超磁致伸缩驱动器的结构设计 | 第34-41页 |
| 2.4.1 超磁致伸缩驱动器设计目标 | 第34-36页 |
| 2.4.2 超磁致伸缩驱动器磁路设计 | 第36-38页 |
| 2.4.3 超磁致伸缩驱动器预应力机构设计 | 第38-39页 |
| 2.4.4 超磁致伸缩驱动器降温系统设计 | 第39-40页 |
| 2.4.5 超磁致伸缩驱动器的整体结构 | 第40-41页 |
| 2.5 本章小结 | 第41-43页 |
| 3 微定位平台传动机构的优化设计与分析 | 第43-59页 |
| 3.1 传动机构的结构 | 第43-44页 |
| 3.2 传动机构的传动模型 | 第44-47页 |
| 3.2.1 单组柔性铰链数学模型 | 第44-46页 |
| 3.2.2 柔性铰链传动机构的数学模型 | 第46-47页 |
| 3.3 柔性铰链传动机构的优化设计 | 第47-49页 |
| 3.4 柔性铰链传动机构的有限元分析 | 第49-52页 |
| 3.4.1 柔性铰链传动机构有限元模型 | 第50页 |
| 3.4.2 静力学仿真分析 | 第50-52页 |
| 3.5 柔性铰链传动机构的动力学建模与模态分析 | 第52-57页 |
| 3.5.1 动力学模型 | 第52-54页 |
| 3.5.2 模态仿真分析 | 第54-57页 |
| 3.7 本章小结 | 第57-59页 |
| 4 超磁致伸缩驱动微定位平台的输出位移建模方法 | 第59-69页 |
| 4.1 微定位平台结构与工作原理 | 第59-60页 |
| 4.2 微定位平台的磁滞非线性分析 | 第60-61页 |
| 4.3 微定位平台的Preisach磁滞非线性模型 | 第61-66页 |
| 4.3.1 建模方法分类 | 第61-62页 |
| 4.3.2 Preisach磁滞模型 | 第62-66页 |
| 4.4 微定位平台的输出位移建模 | 第66-68页 |
| 4.4.1 磁场模型 | 第67页 |
| 4.4.2 磁致非线性模型 | 第67-68页 |
| 4.4.3 磁致伸缩模型 | 第68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 5 超磁致伸缩微定位平台的性能测试 | 第69-81页 |
| 5.1 实验平台搭建 | 第69-73页 |
| 5.1.1 超磁致伸缩驱动器 | 第69-71页 |
| 5.1.2 高精度直流电源 | 第71-72页 |
| 5.1.3 高精度位移传感器 | 第72页 |
| 5.1.4 数字高斯计 | 第72页 |
| 5.1.5 冷却水泵 | 第72页 |
| 5.1.6 温度传感器 | 第72-73页 |
| 5.2 线圈内部磁感应强度测试 | 第73-75页 |
| 5.3 超磁致伸缩驱动器的输出位移测试 | 第75-77页 |
| 5.4 超磁致伸缩驱动微定位平台的位移测试 | 第77-79页 |
| 5.5 本章小结 | 第79-81页 |
| 6 总结与展望 | 第81-85页 |
| 6.1 总结 | 第81-82页 |
| 6.2 展望 | 第82-85页 |
| 参考文献 | 第85-91页 |
| 致谢 | 第91-93页 |
| 作者简介及攻读硕士学位期间主要科研成果 | 第93-94页 |