| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第14-23页 |
| 1.1 课题来源与意义 | 第14-17页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第14页 |
| 1.1.2 研究背景与意义 | 第14-17页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第17-21页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第17-19页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第19-20页 |
| 1.2.3 发展趋势 | 第20-21页 |
| 1.3 论文研究思路与内容 | 第21-23页 |
| 第二章 虚拟多测头扫描测量原理和系统 | 第23-34页 |
| 2.1 基于误差分离技术的虚拟多测头扫描测量系统 | 第23-27页 |
| 2.1.1 多测头扫描测量方法 | 第23-24页 |
| 2.1.2 虚拟多测头扫描测量方法 | 第24-27页 |
| 2.2 虚拟多测头扫描系统构成 | 第27-33页 |
| 2.2.1 系统构成与工作原理 | 第27-28页 |
| 2.2.2 高精度的滚珠丝杠扫描运动平台 | 第28-29页 |
| 2.2.3 光谱共焦式传感器 | 第29-32页 |
| 2.2.4 微动平台系统 | 第32-33页 |
| 2.3 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 音圈电机驱动的微动平台设计 | 第34-49页 |
| 3.1 微动平台设计方案 | 第34-35页 |
| 3.2 柔性铰链结构设计和有限元仿真 | 第35-43页 |
| 3.2.1 柔性铰链材料以及加工方法 | 第35-36页 |
| 3.2.2 柔性铰链结构和参数设计 | 第36-41页 |
| 3.2.3 微动平台模态有限元分析 | 第41-43页 |
| 3.3 微动平台性能测试 | 第43-48页 |
| 3.3.1 微动平台的控制方案 | 第43-44页 |
| 3.3.2 微动平台的PID整定 | 第44-46页 |
| 3.3.3 运动垂直方向重复性测试 | 第46-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 虚拟多测头扫描测量法误差分析 | 第49-65页 |
| 4.1 测头位姿对轮廓重构精度影响 | 第49-54页 |
| 4.1.1 基于虚拟多测头扫描的误差分离算法 | 第49-51页 |
| 4.1.2 XOY面测头位姿对轮廓重构精度的影响 | 第51-53页 |
| 4.1.3 XOZ面测头位姿对轮廓重构精度的影响 | 第53-54页 |
| 4.2 测量系统各种误差因素对轮廓重构精度的影响 | 第54-61页 |
| 4.2.1 测量漂移 | 第55页 |
| 4.2.2 环境振动对精度的影响 | 第55-56页 |
| 4.2.3 微运动平台采样间距对轮廓重构精度的影响 | 第56-59页 |
| 4.2.4 扫描平台定位精度对轮廓重构精度的影响 | 第59-61页 |
| 4.3 误差估计与不确定度 | 第61-64页 |
| 4.3.1 测量不确定度的定义和评定方法 | 第61-62页 |
| 4.3.2 基于蒙特卡罗的重构误差估计与不确定度分析 | 第62-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 光学表面轮廓测量实验 | 第65-73页 |
| 5.1 运动程序界面编写 | 第65-67页 |
| 5.1.1 基于MFC的运动测量平发搭建 | 第65-66页 |
| 5.1.2 人机交互界面编写与实验验证 | 第66-67页 |
| 5.2 轮廓重构实验 | 第67-72页 |
| 5.2.1 实验准备 | 第67-69页 |
| 5.2.2 单测头轮廓扫描测量 | 第69-70页 |
| 5.2.3 扫描平台基于不同间距的扫描 | 第70-72页 |
| 5.2.4 实验结果分析与论证 | 第72页 |
| 5.3 本章小结 | 第72-73页 |
| 总结与展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80页 |