多晶硅定向凝固传热过程数值模拟及优化研究
摘要 | 第6-7页 |
ABSTRACT | 第7-8页 |
第一章 绪论 | 第12-36页 |
1.1 立题背景 | 第12-16页 |
1.1.1 全球能源危机与可再生能源 | 第12页 |
1.1.2 光伏产业的发展 | 第12-15页 |
1.1.3 多晶硅产业现状 | 第15-16页 |
1.2 多晶硅主要制备方法 | 第16-27页 |
1.2.1 化学法提纯硅 | 第17-19页 |
1.2.2 冶金法制备多晶硅步骤 | 第19-27页 |
1.3 定向凝固数值模拟研究 | 第27-33页 |
1.3.1 温度场、流场的数值模拟 | 第28-30页 |
1.3.2 浓度场数值模拟 | 第30-32页 |
1.3.3 应力场数值模拟 | 第32-33页 |
1.4 本论文研究内容和意义 | 第33-36页 |
第二章 模拟流动和传热的计算模型 | 第36-44页 |
2.1 物理模型 | 第36-38页 |
2.2 网格划分和边界条件设置 | 第38-39页 |
2.3 传热流动模型 | 第39-44页 |
2.3.1 流动方程和模型 | 第39-41页 |
2.3.2 传热方程和模型 | 第41-44页 |
第三章 下拉速率对定向凝固过程影响 | 第44-56页 |
3.1 研究内容 | 第44页 |
3.2 模拟结果和讨论 | 第44-49页 |
3.2.1 总输出功率和热能损失 | 第44-46页 |
3.2.2 凝固分数变化 | 第46页 |
3.2.3 温度场和流场 | 第46-48页 |
3.2.4 固液界面 | 第48-49页 |
3.3 实验研究 | 第49-53页 |
3.3.1 实验原料 | 第49-50页 |
3.3.2 实验装置 | 第50页 |
3.3.3 实验步骤 | 第50-51页 |
3.3.4 长晶质量 | 第51-53页 |
3.4 新工艺路线 | 第53-54页 |
3.5 本章小结 | 第54-56页 |
第四章 坩埚类型和挡板对定向凝固过程影响 | 第56-62页 |
4.1 研究内容和计算模型 | 第56-58页 |
4.2 模拟结果与讨论 | 第58-61页 |
4.3 本章小结 | 第61-62页 |
第五章 热场节能优化的数值模拟研究 | 第62-66页 |
5.1 研究内容和计算模型 | 第62页 |
5.2 结果和讨论 | 第62-65页 |
5.3 本章小结 | 第65-66页 |
第六章 真空定向凝固浓度场的数值模拟 | 第66-76页 |
6.1 模型参考 | 第66-67页 |
6.2 相传输模型 | 第67-70页 |
6.2.1 杂质分凝模型 | 第67-69页 |
6.2.2 杂质挥发模型 | 第69-70页 |
6.3 参数设置和边界条件设置 | 第70-72页 |
6.4 计算结果与讨论 | 第72-74页 |
6.4.1 误差分析 | 第72-73页 |
6.4.2 杂质分布 | 第73-74页 |
6.5 本章小结 | 第74-76页 |
第七章 结论与展望 | 第76-78页 |
7.1 结论 | 第76页 |
7.2 展望 | 第76-78页 |
致谢 | 第78-80页 |
参考文献 | 第80-90页 |
附录 | 第90页 |