| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 1 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 硬质涂层的应用领域及种类 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外硬质涂层的特征性能研究 | 第12-19页 |
| 1.2.1 硬度 | 第13-15页 |
| 1.2.2 残余应力 | 第15页 |
| 1.2.3 韧性 | 第15-16页 |
| 1.2.4 膜基结合力 | 第16-17页 |
| 1.2.5 热稳定性 | 第17-18页 |
| 1.2.6 抗高温氧化性 | 第18页 |
| 1.2.7 耐腐蚀性 | 第18-19页 |
| 1.2.8 耐磨性 | 第19页 |
| 1.3 硬质涂层PVD制备方法 | 第19-22页 |
| 1.3.1 真空蒸发沉积 | 第20页 |
| 1.3.2 溅射沉积 | 第20-21页 |
| 1.3.3 离子镀沉积 | 第21-22页 |
| 1.4 研究内容与研究目的 | 第22-23页 |
| 2 实验方法 | 第23-28页 |
| 2.1 涂层的制备及实验方案 | 第23页 |
| 2.2 分析检测 | 第23-28页 |
| 2.2.1 涂层显微组织结构表征 | 第23-25页 |
| 2.2.2 力学性能测试 | 第25-26页 |
| 2.2.3 热稳定实验和高温氧化实验 | 第26页 |
| 2.2.4 电化学腐蚀实验 | 第26-28页 |
| 3 AlTiN、AlCrN和AlCrSiWN涂层的微观结构与力学性能研究 | 第28-39页 |
| 3.1 成分和显微组织结构 | 第28-32页 |
| 3.2 物相结构 | 第32-34页 |
| 3.2.1 元素的赋存状态 | 第32-33页 |
| 3.2.2 物相组成 | 第33-34页 |
| 3.3 力学性能 | 第34-37页 |
| 3.3.1 硬度与弹性模量 | 第34-35页 |
| 3.3.2 膜基结合力 | 第35-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-39页 |
| 4 AlTiN、AlCrN和AlCrSiWN涂层的热稳定性和高温抗氧化行为 | 第39-53页 |
| 4.1 AlTiN、AlCrN和AlCrSiWN涂层的热稳定性 | 第39-42页 |
| 4.1.1 结构变化 | 第39-41页 |
| 4.1.2 力学性能变化 | 第41-42页 |
| 4.2 AlTiN、AlCrN和AlCrSiWN涂层的高温抗氧化行为 | 第42-51页 |
| 4.2.1 结构变化 | 第42-43页 |
| 4.2.2 表面形貌显微组织分析 | 第43-48页 |
| 4.2.3 电子探针氧化断面元素分布分析 | 第48-51页 |
| 4.3 本章小结 | 第51-53页 |
| 5 AlTiN、AlCrN和AlCrSiWN涂层的耐腐蚀性能 | 第53-63页 |
| 5.1 动电位极化曲线 | 第53-56页 |
| 5.2 交流阻抗图谱分析 | 第56-57页 |
| 5.3 腐蚀表面显微组织分析 | 第57-59页 |
| 5.4 腐蚀机理分析 | 第59-62页 |
| 5.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 6 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-73页 |
| 攻读学位期间主要的研究成果 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
