| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题来源和研究意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题研究背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 光波导的发展和制作技术研究概况 | 第10-15页 |
| 1.2.1 光波导的材料及分类 | 第10-11页 |
| 1.2.2 光波导的制作方法 | 第11-14页 |
| 1.2.3 常用的光波导器件 | 第14-15页 |
| 1.3 飞秒激光加工概述 | 第15-17页 |
| 1.3.1 激光加工简介 | 第15-16页 |
| 1.3.2 飞秒激光加工的特点 | 第16页 |
| 1.3.3 飞秒激光加工透明介质材料的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.4 论文的主要内容与章节安排 | 第17-19页 |
| 2 飞秒激光与透明介质的相互作用 | 第19-27页 |
| 2.1 飞秒激光对透明介质材料加工的机理 | 第19-21页 |
| 2.1.1 非线性光电离和雪崩电离 | 第19-21页 |
| 2.1.2 介质材料的库伦爆炸 | 第21页 |
| 2.2 飞秒激光诱导玻璃改性 | 第21-26页 |
| 2.2.1 折射率变化机理 | 第21-24页 |
| 2.2.2 折射率变化的分布与测量 | 第24-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 圆形截面光波导的加工与测试 | 第27-40页 |
| 3.1 飞秒激光加工光波导的方法 | 第27-31页 |
| 3.1.1 干涉方法 | 第27-28页 |
| 3.1.2 投影方法 | 第28页 |
| 3.1.3 直写方法 | 第28-31页 |
| 3.2 实验系统 | 第31-33页 |
| 3.2.1 飞秒激光直写加工系统 | 第31-33页 |
| 3.2.2 光波导耦合与损耗测试系统 | 第33页 |
| 3.3 光波导的损耗测试 | 第33-39页 |
| 3.3.1 光波导的传输损耗 | 第34页 |
| 3.3.2 传输损耗的测试方法 | 第34-37页 |
| 3.3.3 实验结果 | 第37-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 飞秒激光加工波导光路的工艺参数与传输损耗研究 | 第40-53页 |
| 4.1 不同数值孔径的聚焦物镜对波导传输损耗的影响 | 第40-46页 |
| 4.2 不同的扫描速度对波导传输损耗的影响 | 第46-48页 |
| 4.3 不同的加工能量对波导传输损耗的影响 | 第48-51页 |
| 4.4 实验总结 | 第51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-53页 |
| 5 总结与展望 | 第53-55页 |
| 5.1 全文总结 | 第53-54页 |
| 5.2 研究展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 攻读硕士学位期间主要的研究成果 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |