| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 陶瓷微孔的加工方法 | 第9-10页 |
| 1.2 飞秒激光加工技术 | 第10-20页 |
| 1.2.1 激光的产生及发展 | 第10-11页 |
| 1.2.2 飞秒激光加工机理 | 第11-14页 |
| 1.2.3 飞秒激光加工的特点 | 第14-16页 |
| 1.2.4 飞秒激光的应用 | 第16-18页 |
| 1.2.5 激光在陶瓷微加工领域的研究 | 第18-20页 |
| 1.3 飞秒激光加工装置 | 第20-21页 |
| 1.3.1 激光加工装置的构成 | 第20页 |
| 1.3.2 激光器的分类 | 第20-21页 |
| 1.4 课题的提出及研究内容 | 第21-24页 |
| 1.4.1 课题的提出 | 第21-22页 |
| 1.4.2 课题研究内容 | 第22-24页 |
| 2 实验过程与研究方法 | 第24-30页 |
| 2.1 样品信息 | 第24-25页 |
| 2.2 实验设备 | 第25页 |
| 2.3 实验过程 | 第25-27页 |
| 2.3.1 激光设备的选用 | 第25-26页 |
| 2.3.2 激光加工方式 | 第26-27页 |
| 2.4 分析与测试 | 第27-30页 |
| 2.4.1 扫描电子显微镜分析（SEM） | 第27-28页 |
| 2.4.2 能谱分析（EDS） | 第28页 |
| 2.4.3 X射线光电子能谱分析（XPS） | 第28页 |
| 2.4.4 拉曼光谱分析（Raman spectroscopy） | 第28-30页 |
| 3 飞秒激光对 TiC 陶瓷的圆环加工 | 第30-38页 |
| 3.1 扫描速度对 TiC 陶瓷加工的影响 | 第30-31页 |
| 3.2 激光能量密度对圆环形貌的影响 | 第31-33页 |
| 3.3 激光重复频率对圆环形貌的影响 | 第33-34页 |
| 3.4 圆环的 EDS 分析 | 第34-36页 |
| 3.5 圆环的拉曼光谱分析 | 第36-37页 |
| 3.6 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 飞秒激光对 TiC 陶瓷的圆面加工 | 第38-45页 |
| 4.1 激光能量密度对圆面形貌的影响 | 第38-40页 |
| 4.2 激光重复频率对圆面形貌的影响 | 第40-41页 |
| 4.3 加工圈数对圆面形貌的影响 | 第41-43页 |
| 4.4 本章小结 | 第43-45页 |
| 5 飞秒激光加工 TiC 陶瓷微孔 | 第45-54页 |
| 5.1 能量密度对微孔加工的影响 | 第45-46页 |
| 5.2 辅助气压对微孔加工的影响 | 第46-48页 |
| 5.3 进给速度对微孔加工的影响 | 第48-50页 |
| 5.4 X射线光电子能谱分析 | 第50-52页 |
| 5.5 本章小结 | 第52-54页 |
| 6 结论 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-65页 |
| 附录 硕士研究生阶段发表论文 | 第65页 |