双等离子体离子源的设计与性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 国外双等离子体离子源的研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 国内双等离子体离子源的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 研究的目的和意义 | 第13-14页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第13页 |
| 1.3.2 研究目的 | 第13页 |
| 1.3.3 研究意义 | 第13-14页 |
| 1.4 研究内容 | 第14页 |
| 1.5 课题研究的特色与创新 | 第14-15页 |
| 第2章 双等离子体离子源的工作原理和结构设计 | 第15-25页 |
| 2.1 双等离子体离子源的结构和工作原理 | 第15-16页 |
| 2.2 双等离子体离子源的结构设计 | 第16-24页 |
| 2.2.1 双等离子体离子源整体结构 | 第16-17页 |
| 2.2.2 放电系统设计 | 第17-20页 |
| 2.2.3 磁场设计 | 第20-22页 |
| 2.2.4 散热系统设计 | 第22页 |
| 2.2.5 进气系统设计 | 第22-24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 双等离子体离子源的磁场仿真 | 第25-36页 |
| 3.1 软件设置及求解过程 | 第25-26页 |
| 3.2 磁场仿真 | 第26-32页 |
| 3.2.1 磁场仿真原理 | 第26-27页 |
| 3.2.2 仿真模型的创建 | 第27-28页 |
| 3.2.3 磁场分布仿真结果 | 第28-30页 |
| 3.2.4 磁路材料对磁场传导率的影响 | 第30-32页 |
| 3.3 离子提取率仿真 | 第32-35页 |
| 3.3.1 仿真原理 | 第32页 |
| 3.3.2 仿真模型的创建 | 第32-33页 |
| 3.3.3 离子提取率仿真结果 | 第33-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 双等离子体离子源的放电仿真 | 第36-48页 |
| 4.1 仿真原理 | 第36-37页 |
| 4.2 仿真模型的创建 | 第37页 |
| 4.3 仿真所需数据 | 第37-41页 |
| 4.4 气压对双等离子体离子源性能的影响 | 第41-44页 |
| 4.4.1 气压对离子源放电位置的影响 | 第41-43页 |
| 4.4.2 气压对离子数量及其比例的影响 | 第43-44页 |
| 4.5 放电电流对离子源性能的影响 | 第44-47页 |
| 4.5.1 放电电流对离子源放电位置的影响 | 第44-45页 |
| 4.5.2 放电电流对离子数量及其比例的影响 | 第45-47页 |
| 4.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 双等离子体离子源工作特性的实验研究 | 第48-61页 |
| 5.1 实验测试平台 | 第48-55页 |
| 5.1.1 真空系统 | 第50-51页 |
| 5.1.2 高压系统 | 第51-52页 |
| 5.1.3 偏转板 | 第52-53页 |
| 5.1.4 离子筛选器 | 第53-54页 |
| 5.1.5 离子透镜 | 第54页 |
| 5.1.6 离子束强度和束斑直径检测原理 | 第54-55页 |
| 5.2 实验结果 | 第55-59页 |
| 5.2.1 磁场强度对离子源性能的影响 | 第55-56页 |
| 5.2.2 气压对离子源性能的影响 | 第56-58页 |
| 5.2.3 放电电流对离子源性能的影响 | 第58-59页 |
| 5.3 本章小结 | 第59-61页 |
| 第6章 全文总结 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 作者简介及在学期间所取得的科研成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
