| 中文摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-14页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2 微型热控百叶窗热控技术研究现状 | 第9-12页 |
| 1.3 本文的研究内容及意义 | 第12-14页 |
| 第二章 微型热控百叶窗设计 | 第14-20页 |
| 2.1 微型热控百叶窗设计 | 第14-15页 |
| 2.2 微型热控百叶窗的材料选择 | 第15-16页 |
| 2.3 微型热控百叶窗的驱动方式 | 第16-17页 |
| 2.4 微型热控百叶窗的微窗单元结构 | 第17页 |
| 2.5 微型热控百叶窗工艺设计 | 第17-18页 |
| 2.6 微型热控百叶窗主要技术指标 | 第18页 |
| 2.7 本章小结 | 第18-20页 |
| 第三章 微型热控百叶窗的机电特性理论分析与仿真 | 第20-40页 |
| 3.1 微型热控百叶窗的机电特性的理论分析 | 第20-28页 |
| 3.1.1 微型热控百叶窗的分析模型 | 第20-21页 |
| 3.1.2 微型热控百叶窗机电特性的解析分析 | 第21-28页 |
| 3.2 微型热控百叶窗机电特性仿真分析 | 第28-35页 |
| 3.2.1 微型热控百叶窗的几何模型 | 第28-29页 |
| 3.2.2 微型热控百叶窗模型的网格划分研究 | 第29-30页 |
| 3.2.3 微型热控百叶窗的约束及载荷的施加 | 第30-32页 |
| 3.2.4 微型热控百叶窗的静态特性分析结果后处理 | 第32-35页 |
| 3.3 扭梁式微型热控百叶窗的模态分析 | 第35-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 微型热控百叶窗原理样件制作 | 第40-71页 |
| 4.1 超薄悬空薄膜制备实验 | 第40-44页 |
| 4.2 微型热控百叶窗窗叶激光刻蚀成型 | 第44-48页 |
| 4.3 微型热控百叶窗窗叶表面功能薄膜沉积和应力控制 | 第48-68页 |
| 4.3.1 微型热控百叶窗窗叶表面功能薄膜沉积应力的影响 | 第48-51页 |
| 4.3.2 薄膜应力控制实验 | 第51-68页 |
| 4.4 微型热控百叶窗基底和中间支撑结构制备 | 第68-69页 |
| 4.5 微型热控百叶窗原理样件组装 | 第69-70页 |
| 4.6 本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 微型热控百叶窗原理样件性能测试 | 第71-76页 |
| 5.1 微型热控百叶窗驱动电压测试 | 第71-72页 |
| 5.2 微型热控百叶窗当量发射率变化量 | 第72-74页 |
| 5.3 其它指标测试 | 第74页 |
| 5.4 小结 | 第74-76页 |
| 第六章 结论和展望 | 第76-78页 |
| 6.1 结论 | 第76-77页 |
| 6.2 展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-81页 |
| 在学期间的研究成果 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
