柔性金属微纳结构转印机理及方法研究
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 纳米压印 | 第10-12页 |
| 1.1.1 热压印 | 第10-11页 |
| 1.1.2 紫外压印 | 第11-12页 |
| 1.1.3 软压印 | 第12页 |
| 1.2 压印模板制备 | 第12-14页 |
| 1.2.1 激光干涉光刻 | 第12-13页 |
| 1.2.2 电子束光刻 | 第13页 |
| 1.2.3 离子束光刻 | 第13页 |
| 1.2.4 掩模曝光制备压印模版 | 第13-14页 |
| 1.2.5 激光直写光刻 | 第14页 |
| 1.3 金属蒸镀 | 第14-16页 |
| 1.3.1 磁控溅射镀膜 | 第14-15页 |
| 1.3.2 电子束蒸发镀膜 | 第15-16页 |
| 1.4 微纳转印 | 第16-21页 |
| 1.4.1 基本原理 | 第16-19页 |
| 1.4.2 抗粘性处理 | 第19-20页 |
| 1.4.3 增粘性处理 | 第20-21页 |
| 1.5 国内外研究现状 | 第21-23页 |
| 1.6 本文的选题依据及研究内容 | 第23-24页 |
| 第二章 基于巯基表面修饰的金属纳米转印 | 第24-39页 |
| 2.1 引言 | 第24-25页 |
| 2.2 实验部分 | 第25-33页 |
| 2.2.1 实验仪器、试剂和材料 | 第25-26页 |
| 2.2.2 压印模板制备 | 第26-28页 |
| 2.2.3 纳米压印制备柔性转印模板 | 第28-29页 |
| 2.2.4 金属层蒸镀 | 第29页 |
| 2.2.5 金属银微米点阵转印 | 第29-31页 |
| 2.2.6 实验结果及分析 | 第31-33页 |
| 2.3 转印影响因素分析探究 | 第33-38页 |
| 2.3.1 转印参数对转印结果的影响 | 第33-34页 |
| 2.3.2 表面结构参数对转印结果的影响 | 第34-36页 |
| 2.3.3 金属选材对转印结果影响 | 第36-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 基于厌氧紫外胶的增嵌式转印方案 | 第39-50页 |
| 3.1 引言 | 第39-40页 |
| 3.2 实验部分 | 第40-44页 |
| 3.2.1 实验仪器、试剂和材料 | 第40-41页 |
| 3.2.2 压印模板的制备 | 第41-42页 |
| 3.2.3 纳米压印制备柔性转印模板 | 第42-44页 |
| 3.2.4 金属层蒸镀 | 第44页 |
| 3.3 低温加热辅助转印银网格结构 | 第44-45页 |
| 3.4 低温加热辅助转印银线栅结构 | 第45-47页 |
| 3.5 柔性金属微米点阵转印 | 第47-49页 |
| 3.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 基于厌氧紫外胶的夺取式转印方案 | 第50-57页 |
| 4.1 引言 | 第50-51页 |
| 4.2 实验部分 | 第51-56页 |
| 4.2.1 实验仪器、试剂和材料 | 第51-52页 |
| 4.2.2 低温加热辅助转印银网格结构 | 第52-53页 |
| 4.2.3 低温加热辅助转印银线栅结构 | 第53页 |
| 4.2.4 低温加热辅助转印铜线栅结构 | 第53-54页 |
| 4.2.5 金属银微米点阵转印 | 第54-56页 |
| 4.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 5.1 总结 | 第57-58页 |
| 5.2 展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
