| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 金属氧化物半导体气敏材料 | 第10-15页 |
| 1.1.1 金属氧化物半导体气敏材料的分类 | 第10-11页 |
| 1.1.2 金属氧化物半导体气敏材料的制备方法 | 第11-12页 |
| 1.1.3 金属氧化物半导体气敏材料气敏机理简述 | 第12-14页 |
| 1.1.4 改善金属氧化物半导体气敏特性的方法 | 第14-15页 |
| 1.2 室温工作的金属氧化物半导体气体传感器的研究现状 | 第15-19页 |
| 1.2.1 降低半导体传感器工作温度的方法 | 第15-16页 |
| 1.2.2 室温工作气体传感器研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3 贵金属钯(Pd)及其氧化物(PdO) | 第19页 |
| 1.3.1 钯及氧化钯的主要应用领域 | 第19页 |
| 1.3.2 钯及氧化钯在半导体气敏材料中的应用 | 第19页 |
| 1.4 本文的研究内容及研究意义 | 第19-21页 |
| 2 PdO敏感材料低温CO气敏特性测试及敏感原理的探究 | 第21-39页 |
| 2.1 动态测试系统介绍 | 第21-23页 |
| 2.1.1 气敏元件的制作 | 第21页 |
| 2.1.2 动态测试系统 | 第21-23页 |
| 2.2 沉淀法制备PdO及其对CO气敏特性及机理探究 | 第23-37页 |
| 2.2.1 沉淀法制备PdO纳米材料 | 第23-25页 |
| 2.2.2 沉淀法制备的PdO纳米材料的表征 | 第25-27页 |
| 2.2.3 沉淀法制备的PdO纳米材料的CO气敏特性测试 | 第27-30页 |
| 2.2.4 PdO纳米材料对CO敏感机理探究 | 第30-37页 |
| 2.3 本章小结 | 第37-39页 |
| 3 水热法PdO纳米材料的制备及甲醛气敏特性研究 | 第39-53页 |
| 3.1 静态测试系统介绍 | 第39-41页 |
| 3.1.1 气敏元件制作 | 第39-40页 |
| 3.1.2 静态测试系统 | 第40-41页 |
| 3.2 PdO纳米材料制备及室温甲醛气敏特性研究 | 第41-49页 |
| 3.2.1 水热法制备PdO材料 | 第41-42页 |
| 3.2.2 不同浓度分散剂对PdO材料的影响 | 第42-43页 |
| 3.2.3 水热法PdO材料甲醛气敏特性研究 | 第43-46页 |
| 3.2.4 分散剂浓度对甲醛气敏特性的影响及机理分析 | 第46-49页 |
| 3.3 沉淀法与水热法制备的PdO材料对比 | 第49-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 4 水热法PdO-CuO复合纳米材料的制备及其甲醛气敏特性 | 第53-67页 |
| 4.1 水热法合成PdO-CuO复合纳米材料及表征 | 第53-60页 |
| 4.1.1 不同钯铜比的PdO-CuO复合纳米材料的制备 | 第53-54页 |
| 4.1.2 不同钯铜比的PdO-CuO复合纳米材料的表征 | 第54-60页 |
| 4.2 PdO-CuO复合纳米材料的甲醛气敏测试 | 第60-63页 |
| 4.3 PdO-CuO复合纳米材料的甲醛气敏机理分析 | 第63-66页 |
| 4.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
