| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 硬质膜概述 | 第12页 |
| 1.2 过渡金属氮化物硬质膜 | 第12-13页 |
| 1.3 纳米复合薄膜致硬机理 | 第13-14页 |
| 1.4 CrAlSiN硬质膜的研究现状 | 第14-19页 |
| 1.4.1 CrAlSiN薄膜结构研究 | 第14-16页 |
| 1.4.2 CrAlSiN薄膜硬度研究 | 第16-18页 |
| 1.4.3 CrAlSiN薄膜抗氧化和热稳定性能研究 | 第18-19页 |
| 1.4.4 CrAlSiN薄膜耐磨损性能研究 | 第19页 |
| 1.5 硬质膜的制备方法 | 第19-20页 |
| 1.6 溅射镀膜原理 | 第20-23页 |
| 1.6.1 溅射机理及特点 | 第20-21页 |
| 1.6.2 直流溅射 | 第21-22页 |
| 1.6.3 射频溅射 | 第22页 |
| 1.6.4 反应溅射 | 第22-23页 |
| 1.6.5 磁控溅射 | 第23页 |
| 1.7 本论文研究的内容和意义 | 第23-24页 |
| 1.7.1 研究内容 | 第23-24页 |
| 1.7.2 研究意义 | 第24页 |
| 1.8 本章小结 | 第24-25页 |
| 第2章 实验方案 | 第25-33页 |
| 2.1 研究目的 | 第25页 |
| 2.2 实验设备 | 第25-27页 |
| 2.2.1 镀膜设备 | 第25-26页 |
| 2.2.2 真空热处理设备 | 第26页 |
| 2.2.3 大气热处理设备 | 第26-27页 |
| 2.3 基片的预处理 | 第27-28页 |
| 2.4 薄膜制备流程 | 第28-29页 |
| 2.5 薄膜性能表征 | 第29-30页 |
| 2.5.1 XRD物相分析 | 第29页 |
| 2.5.2 表面形貌分析 | 第29-30页 |
| 2.5.3 纳米压痕仪 | 第30页 |
| 2.5.4 成分检测 | 第30页 |
| 2.6 薄膜的制备 | 第30-31页 |
| 2.7 热处理实验 | 第31-32页 |
| 2.8 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 CrN和CrAlN薄膜结构和性能 | 第33-37页 |
| 3.1 Al靶功率对CrAlN薄膜物相的影响 | 第33-34页 |
| 3.2 Al靶功率对CrAlN薄膜表面形貌和成分的影响 | 第34-35页 |
| 3.3 Al靶功率对CrAlN薄膜硬度的影响 | 第35-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 CrAlSiN薄膜结构和性能 | 第37-42页 |
| 4.1 Si靶功率对CrAlSiN薄膜物相的影响 | 第37-38页 |
| 4.2 Si靶功率对CrAlSiN薄膜表面形貌和成分的影响 | 第38-40页 |
| 4.3 Si靶功率对CrAlSiN薄膜硬度的影响 | 第40-41页 |
| 4.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第5章 真空热处理对CrAlSiN薄膜结构和性能的影响 | 第42-52页 |
| 5.1 真空热处理对CrAlSiN薄膜物相的影响 | 第42-45页 |
| 5.1.1 800℃真空热处理对CrAlSiN薄膜物相的影响 | 第42页 |
| 5.1.2 900℃真空热处理对CrAlSiN薄膜物相的影响 | 第42-43页 |
| 5.1.3 1000℃大气热处理对CrAlSiN薄膜物相的影响 | 第43-45页 |
| 5.2 真空热处理对CrAlSiN薄膜形貌和成分的影响 | 第45-47页 |
| 5.3 真空热处理对CrAlSiN薄膜硬度的影响 | 第47-50页 |
| 5.3.1 800℃真空热处理对CrAlSiN薄膜硬度的影响 | 第47-48页 |
| 5.3.2 900℃真空热处理对CrAlSiN薄膜硬度的影响 | 第48-49页 |
| 5.3.3 1000℃真空热处理对CrAlSiN薄膜硬度的影响 | 第49-50页 |
| 5.4 本章小结 | 第50-52页 |
| 第6章 大气热处理对CrAlSiN薄膜结构和性能的影响 | 第52-57页 |
| 6.1 大气热处理对CrAlSiN薄膜物相的影响 | 第52-54页 |
| 6.1.1 800℃大气热处理对CrAlSiN薄膜物相的影响 | 第52页 |
| 6.1.2 1000℃大气热处理对CrAlSiN薄膜物相的影响 | 第52-54页 |
| 6.2 大气热处理对CrAlSiN薄膜形貌和成分的影响 | 第54-55页 |
| 6.2.1 800℃大气热处理对CrAlSiN薄膜形貌和成分的影响 | 第54页 |
| 6.2.2 1000℃大气热处理对CrAlSiN薄膜形貌和成分的影响 | 第54-55页 |
| 6.3 大气热处理对CrAlSiN薄膜硬度的影响 | 第55-56页 |
| 6.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
