| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 硬质膜应用概述 | 第12-13页 |
| 1.2 气相沉积技术 | 第13-15页 |
| 1.2.1 化学气相沉积（CVD） | 第13-14页 |
| 1.2.2 物理气相沉积（PVD） | 第14-15页 |
| 1.3 磁控溅射 | 第15-17页 |
| 1.3.1 磁控溅射原理 | 第15-16页 |
| 1.3.2 反应磁控溅射原理 | 第16页 |
| 1.3.3 磁控溅射技术的研究进展 | 第16-17页 |
| 1.4 过渡金属氮化物硬质膜的分类 | 第17-19页 |
| 1.5 TiAlSiN薄膜的研究进展 | 第19-22页 |
| 1.5.1 TiAlSiN薄膜的结构 | 第19-20页 |
| 1.5.2 TiAlSiN薄膜的硬度 | 第20-21页 |
| 1.5.3 TiAlSiN薄膜的抗氧化性和热稳定性 | 第21-22页 |
| 1.6 本论文研究内容和意义 | 第22页 |
| 1.6.1 研究内容 | 第22页 |
| 1.6.2 研究意义 | 第22页 |
| 1.7 本章小结 | 第22-24页 |
| 第2章 实验方案 | 第24-32页 |
| 2.1 实验目的 | 第24页 |
| 2.2 实验设备 | 第24-26页 |
| 2.2.1 镀膜设备 | 第24-25页 |
| 2.2.2 真空热处理设备 | 第25页 |
| 2.2.3 大气热处理设备 | 第25-26页 |
| 2.3 薄膜性能表征设备 | 第26-29页 |
| 2.3.1 XRD物相分析 | 第26-27页 |
| 2.3.2 表面形貌分析 | 第27页 |
| 2.3.3 成分检测 | 第27-28页 |
| 2.3.4 纳米硬度检测 | 第28-29页 |
| 2.4 基片的预处理 | 第29-30页 |
| 2.5 薄膜制备流程 | 第30-31页 |
| 2.6 实验工艺 | 第31页 |
| 2.6.1 TiAlN薄膜的制备 | 第31页 |
| 2.6.2 TiAlSiN薄膜的制备 | 第31页 |
| 2.6.3 TiAlSiN薄膜热处理 | 第31页 |
| 2.7 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 TiAlN薄膜结构和性能 | 第32-37页 |
| 3.1 Al靶功率对薄膜物相的影响 | 第32-33页 |
| 3.2 Al靶功率对TiAlN薄膜表面形貌和成分的影响 | 第33页 |
| 3.3 Al靶功率对TiAlN薄膜表面粗糙度影响 | 第33-35页 |
| 3.4 Al靶功率对TiAlN薄膜硬度的影响 | 第35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第4章 TiAlSiN薄膜结构和性能 | 第37-43页 |
| 4.1 不同Si含量对TiAlSiN薄膜物相的影响 | 第37-38页 |
| 4.2 Si含量对TiAlSiN薄膜表面形貌和成分的影响 | 第38-40页 |
| 4.3 Si含量对TiAlSiN薄膜硬度的影响 | 第40-41页 |
| 4.4 本章小结 | 第41-43页 |
| 第5章 真空热处理对TiAlSiN薄膜结构和性能的影响 | 第43-51页 |
| 5.1 真空热处理对TiAlSiN薄膜物相的影响 | 第43-45页 |
| 5.1.1 800℃真空热处理对薄膜物相的影响 | 第43页 |
| 5.1.2 900℃真空热处理对薄膜物相的影响 | 第43-44页 |
| 5.1.3 1000℃真空热处理对薄膜物相的影响 | 第44页 |
| 5.1.4 不同温度真空热处理后薄膜的物相 | 第44-45页 |
| 5.2 真空热处理对TiAlSiN薄膜形貌及成分影响 | 第45-46页 |
| 5.3 真空热处理对TiAlSiN薄膜硬度的影响 | 第46-49页 |
| 5.3.1 800℃真空热处理对薄膜硬度的影响 | 第46-47页 |
| 5.3.2 900℃真空热处理对薄膜硬度的影响 | 第47-48页 |
| 5.3.3 1000℃真空热处理对薄膜硬度的影响 | 第48-49页 |
| 5.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第6章 大气热处理对TiAlSiN薄膜结构性能的影响 | 第51-58页 |
| 6.1 大气热处理对TiAlSiN薄膜物相的影响 | 第51-54页 |
| 6.1.1 800℃大气热处理对薄膜物相的影响 | 第51-52页 |
| 6.1.2 1000℃大气热处理对薄膜物相的影响 | 第52页 |
| 6.1.3 不同温度大气热处理后薄膜的物相 | 第52-54页 |
| 6.2 大气热处理对TiAlSiN薄膜形貌及成分的影响 | 第54-55页 |
| 6.3 大气热处理对TiAlSiN薄膜硬度的影响 | 第55-57页 |
| 6.3.1 800℃大气热处理对薄膜硬度的影响 | 第55-56页 |
| 6.3.2 1000℃大气热处理对薄膜硬度的影响 | 第56-57页 |
| 6.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
