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Si基压阻式压力传感器性能补偿方法研究

中文摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第9-16页
    1.1 研究目的和意义第10-12页
    1.2 国内外研究现状第12-13页
    1.3 本文的主要研究内容及工作第13-14页
    1.4 本文的各章节安排第14-16页
第二章 硅压阻式压力传感器工作原理和温度特性第16-29页
    2.1 压阻式压力传感器的结构第16-19页
    2.2 压阻式压力传感器的电路模型第19-21页
    2.3 压阻式压力传感器温度特性第21-25页
        2.3.1 硅压阻式压力传感器零点温漂产生原因第21页
        2.3.2 硅压阻式压力传感器灵敏度温漂产生原因第21-22页
        2.3.3 硅压阻式压力传感器的基本性能参数第22-25页
    2.4 压力传感器温度漂移的补偿方法第25-26页
        2.4.1 硬件补偿第25-26页
        2.4.2 软件补偿第26页
    2.5 补偿系统设计第26-28页
        2.5.1 利用高精度的信号调理芯片进行多路补偿系统设计第26-27页
        2.5.2 基于单片机软件处理程序的多路补偿系统设计方案第27页
        2.5.3 本文提出的多路补偿系统方案第27-28页
    2.6 本章小结第28-29页
第三章 硅压阻式压力传感器补偿算法第29-42页
    3.1 硅压阻式压力传感器温度补偿模型第29页
    3.2 多项式拟合算法第29-31页
    3.3 神经网络第31-41页
        3.3.1 神经网络简介第31页
        3.3.2 神经网络的特点及应用第31-33页
        3.3.3 神经网络的发展历史第33-34页
        3.3.4 BP神经网络原理第34-38页
        3.3.5 广义回归神经网络原理(GRNN)第38-41页
    3.4 本章小结第41-42页
第四章 FPGA补偿实现第42-58页
    4.0 多项式校正补偿方法的FPGA实现第42-43页
    4.1 校正过程与结果分析第43-47页
    4.2 BP神经网络补偿算法第47-50页
    4.3 GRNN神经网络补偿算法第50-56页
        4.3.1 GRNN神经网络补偿的MATLAB实现第50-53页
        4.3.2 GRNN神经网络补偿的STM32编程实现第53-56页
    4.4 本章小结第56-58页
第五章补偿过程与结果分析第58-66页
    5.1 实验数据与BP神经网络补偿结果第58-63页
    5.2 GRNN神经网络补偿结果第63-65页
    5.3 本章小结第65-66页
第六章总结与展望第66-68页
    6.1 总结第66页
    6.2 展望第66-68页
参考文献第68-73页
攻读硕士学位期间公开发表的学术论文第73-74页
致谢第74-75页

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