| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 微型加速度开关器件简介 | 第10-11页 |
| 1.3 微型加速度开关器件的研究现状 | 第11-21页 |
| 1.3.1 提高阈值精度 | 第11-15页 |
| 1.3.2 延长导通时间 | 第15-21页 |
| 1.4 研究目标和研究内容 | 第21-22页 |
| 1.4.1 研究目标 | 第21页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第21-22页 |
| 1.5 小结 | 第22-23页 |
| 2 微型加速度开关器件的相关理论研究 | 第23-47页 |
| 2.1 加速度开关器件运动平衡方程 | 第23-25页 |
| 2.2 加速度开关器件压膜阻尼特性分析 | 第25-31页 |
| 2.2.1 雷诺方程 | 第26-27页 |
| 2.2.2 不可压缩气体的压膜阻尼特性分析 | 第27-28页 |
| 2.2.3 可压缩气体的压膜阻尼特性分析 | 第28-30页 |
| 2.2.4 基于稀薄气体效应的压膜阻尼系数修正 | 第30-31页 |
| 2.3 基于触点电极和增强压膜阻尼效应的微型加速度开关器件新结构 | 第31-32页 |
| 2.4 基于触点电极的微型加速度开关器件动力学模型 | 第32-40页 |
| 2.4.1 基于触点电极的微型加速度开关器件动力学模型 | 第32-37页 |
| 2.4.2 冲击响应谱分析 | 第37-40页 |
| 2.5 微型加速度开关器件主要性能参数分析 | 第40-44页 |
| 2.5.1 阈值加速度特性分析 | 第40-42页 |
| 2.5.2 响应时间分析 | 第42-43页 |
| 2.5.3 导通时间分析 | 第43-44页 |
| 2.6 小结 | 第44-47页 |
| 3 微型加速度开关器件的结构优化设计 | 第47-67页 |
| 3.1 微型加速度开关器件主要技术指标 | 第47-48页 |
| 3.2 微型加速度开关器件总体优化思路 | 第48-49页 |
| 3.3 微型加速度开关器件的数值仿真优化 | 第49-55页 |
| 3.3.1 敏感结构优化 | 第49-53页 |
| 3.3.2 触点电极表面尺寸优化 | 第53-55页 |
| 3.4 微型加速度开关器件的有限元仿真优化 | 第55-65页 |
| 3.4.1 仿真方法 | 第55-59页 |
| 3.4.2 微型加速度开关器件关键结构尺寸参数优化 | 第59-65页 |
| 3.5 小结 | 第65-67页 |
| 4 微型加速度开关器件的关键加工技术研究 | 第67-75页 |
| 4.1 关键加工技术 | 第67-71页 |
| 4.1.1 ICP干法刻蚀 | 第67-70页 |
| 4.1.2 阳极键合 | 第70-71页 |
| 4.2 微型加速度开关器件的工艺流程及掩膜版图设计 | 第71-74页 |
| 4.2.1 工艺流程设计 | 第71-73页 |
| 4.2.2 掩膜版图设计 | 第73-74页 |
| 4.3 小结 | 第74-75页 |
| 5 微型加速度开关器件的性能测试与分析 | 第75-87页 |
| 5.1 封装管壳选择 | 第75-76页 |
| 5.2 测试方法研究 | 第76-77页 |
| 5.3 测试平台搭建 | 第77-79页 |
| 5.4 测试结果与分析 | 第79-85页 |
| 5.4.1 阈值加速度 | 第79-80页 |
| 5.4.2 阈值精度 | 第80-81页 |
| 5.4.3 响应时间和导通时间 | 第81-83页 |
| 5.4.4 抗冲击能力 | 第83-84页 |
| 5.4.5 接触电阻 | 第84-85页 |
| 5.5 测试结果比较 | 第85-86页 |
| 5.6 小结 | 第86-87页 |
| 6 结论与展望 | 第87-91页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第87-88页 |
| 6.2 主要创新点 | 第88页 |
| 6.3 后续研究工作展望 | 第88-91页 |
| 致谢 | 第91-93页 |
| 参考文献 | 第93-101页 |
| 附录 | 第101页 |
| A. 作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第101页 |
| B. 作者在攻读学位期间申报专利情况 | 第101页 |
