基于傅里叶变换轮廓术的光学三维形貌测量技术的研究
摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5页 |
1. 绪论 | 第8-19页 |
1.1 引言 | 第8页 |
1.2 物体的光学三维形貌测量方法概论 | 第8-17页 |
1.2.1 被动三维测量方法 | 第8-10页 |
1.2.2 主动三维测量方法 | 第10-17页 |
1.3 光学三维形貌测量方法的研究热点、难点 | 第17页 |
1.4 本论文的主要内容 | 第17-19页 |
2. 基于傅里叶变换轮廓术的相关原理 | 第19-32页 |
2.1 傅里叶变换轮廓术的基本原理与计算公式 | 第19-22页 |
2.2 提高傅里叶变换轮廓术测量精度的方法 | 第22-24页 |
2.2.1 准正弦投影和相移技术 | 第22-24页 |
2.2.2 数字加权处理 | 第24页 |
2.2.3 二维汉宁滤波 | 第24页 |
2.3 FTP中对测量系统的基本要求 | 第24-27页 |
2.4 FTP中相位及高度算法分析 | 第27-32页 |
2.4.1 非平行测量时的相位求解 | 第27-29页 |
2.4.2 高度计算 | 第29-32页 |
3. 相位展开 | 第32-41页 |
3.1 相位展开概述 | 第32页 |
3.2 传统的相位展幵算法 | 第32-36页 |
3.3 新的相位展开方法 | 第36-41页 |
3.3.1 三维面形测量技术中的二维相位场展开 | 第37-38页 |
3.3.2 三维面形测量技术中的三维相位场展开 | 第38-41页 |
4. 实验过程及结果分析 | 第41-50页 |
4.1 实验设计 | 第41-42页 |
4.2 图像分析与处理 | 第42-48页 |
4.3 实际应用 | 第48-50页 |
结论 | 第50-51页 |
参考文献 | 第51-55页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第55-56页 |
致谢 | 第56页 |