| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 太阳能电池简介 | 第10-14页 |
| 1.2.1 太阳能电池的工作原理 | 第11页 |
| 1.2.2 太阳能电池的发展史 | 第11-12页 |
| 1.2.3 太阳能电池的分类 | 第12-14页 |
| 1.3 CIGS薄膜太阳能电池 | 第14-22页 |
| 1.3.1 CIGS薄膜太阳能电池的发展史 | 第14-16页 |
| 1.3.2 CIGS材料的性质 | 第16页 |
| 1.3.3 CIGS薄膜太阳能电池的结构 | 第16-19页 |
| 1.3.4 CIGS薄膜的制备方法 | 第19-22页 |
| 1.4 目前存在的问题 | 第22页 |
| 1.5 本论文的研究目的、思路及主要内容 | 第22-24页 |
| 第二章 工作压强对CIGS薄膜结构及其性能的影响 | 第24-32页 |
| 2.1 引言 | 第24-25页 |
| 2.2 实验部分 | 第25-27页 |
| 2.2.1 仪器、原料与试剂 | 第25-26页 |
| 2.2.2 基片的处理 | 第26页 |
| 2.2.3 实验过程 | 第26-27页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第27-30页 |
| 2.3.1 不同工作压强对CIGS薄膜形貌的影响 | 第27-28页 |
| 2.3.2 不同工作压强对CIGS薄膜成分的影响 | 第28-29页 |
| 2.3.3 不同工作压强对CIGS薄膜性能的影响 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 不同溅射功率制备CIGS薄膜及其器件的构筑 | 第32-42页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 实验部分 | 第32-34页 |
| 3.2.1 仪器、原料与试剂 | 第32页 |
| 3.2.2 基片的处理 | 第32-33页 |
| 3.2.3 实验过程 | 第33-34页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第34-41页 |
| 3.3.1 不同溅射功率分别对CuIn和CuGa薄膜形貌、厚度和成分的影响 | 第34-35页 |
| 3.3.2 固定CuGa靶溅射功率，调节CuIn靶溅射功率对薄膜性能的影响 | 第35-39页 |
| 3.3.3 固定CuIn靶溅射功率为 90 W，寻找最优CuGa靶溅射功率 | 第39-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 不同退火温度制备CIGS薄膜及其器件的构筑 | 第42-50页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 实验部分 | 第42-44页 |
| 4.2.1 仪器、原料与试剂 | 第42页 |
| 4.2.2 基片的处理 | 第42-43页 |
| 4.2.3 实验过程 | 第43-44页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第44-49页 |
| 4.3.1 不同硒化温度对CIGS吸收层薄膜EDS组分的影响 | 第44页 |
| 4.3.2 不同硒化温度对CIGS吸收层薄膜性能的影响 | 第44-47页 |
| 4.3.3 预热处理对CIGS器件性能的影响 | 第47-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 结论与展望 | 第50-52页 |
| 结论 | 第50-51页 |
| 存在的问题 | 第51页 |
| 展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-58页 |
| 硕士期间发表和已完成的论文与工作 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
