| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 研究意义与背景 | 第7-8页 |
| 1.2 微质量传感器研究现状 | 第8-12页 |
| 1.2.1 静态弯曲变形模式微质量传感器研究现状 | 第8页 |
| 1.2.2 线性谐振式微质量传感器研究现状 | 第8-10页 |
| 1.2.3 非线性微质量传感器研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3 本文主要研究内容及方法 | 第12-13页 |
| 2 基于分岔的压电驱动微质量传感器理论分析 | 第13-25页 |
| 2.1 微质量传感器结构设计 | 第13-15页 |
| 2.2 压电驱动理论分析 | 第15-20页 |
| 2.3 非线性动力学理论分析 | 第20-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 预应力余弦梁动力学特性分析 | 第25-34页 |
| 3.1 概述 | 第25-26页 |
| 3.2 预应力余弦梁动力学响应特性分析 | 第26-32页 |
| 3.2.1 激励幅值对分岔频率的影响 | 第28-30页 |
| 3.2.2 轴向挤压位移对分岔频率的影响 | 第30-32页 |
| 3.3 预应力梁构型对参激振动力学特性的影响 | 第32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 4 基于压电驱动预应力双稳态结构参激分岔的微质量传感器设计 | 第34-44页 |
| 4.1 基于参激分岔现象的传感器工作原理 | 第34-37页 |
| 4.2 阈值型微质量开关设计 | 第37-40页 |
| 4.2.1 质量吸附位置对微质量开关阈值的影响 | 第38-39页 |
| 4.2.2 激励幅值对微质量开关阈值的影响 | 第39-40页 |
| 4.3 称重型非线性微质量传感器设计 | 第40-43页 |
| 4.3.1 质量吸附位置对微质量传感器性能的影响 | 第42页 |
| 4.3.2 激励幅值对微质量传感器性能的影响 | 第42-43页 |
| 4.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 5 非线性微质量传感器实验验证 | 第44-51页 |
| 5.1 传感器制备与测量 | 第44-46页 |
| 5.2 实验结果分析 | 第46-48页 |
| 5.3 实验展望 | 第48-49页 |
| 5.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-58页 |