飞秒激光与石墨相互作用的实验研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 飞秒激光微加工研究 | 第10-17页 |
| 1.1.1 飞秒激光的发展历史 | 第10-11页 |
| 1.1.2 飞秒激光加工的特点 | 第11-13页 |
| 1.1.3 飞秒激光对固体材料的烧蚀加工 | 第13-14页 |
| 1.1.4 飞秒激光在微纳加工中的应用 | 第14-17页 |
| 1.2 本课题的研究现状和发展趋势 | 第17-18页 |
| 1.3 本课题研究的目的和意义 | 第18-19页 |
| 1.4 本课题研究的内容和方法 | 第19-20页 |
| 第二章 激光与石墨的相互作用机理 | 第20-32页 |
| 2.1 纳秒激光与石墨的相互作用 | 第20-23页 |
| 2.1.1 研究现状 | 第20-21页 |
| 2.1.2 作用机理 | 第21-23页 |
| 2.2 飞秒激光与石墨的相互作用 | 第23-27页 |
| 2.2.1 研究现状 | 第23-25页 |
| 2.2.2 作用机理 | 第25-27页 |
| 2.3 飞秒激光和纳秒激光烧蚀的比较 | 第27-28页 |
| 2.4 激光诱导材料表面周期性纳米结构 | 第28-31页 |
| 2.4.1 研究现状 | 第28-29页 |
| 2.4.2 作用机理 | 第29-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 飞秒激光微加工系统与实验方法 | 第32-36页 |
| 3.1 材料与样品准备 | 第32-33页 |
| 3.1.1 石墨 | 第32页 |
| 3.1.2 样品准备 | 第32-33页 |
| 3.2 实验研究方法 | 第33页 |
| 3.3 实验设备 | 第33-35页 |
| 3.3.1 高真空飞秒激光加工系统 | 第34页 |
| 3.3.2 飞秒激光三维微加工系统 | 第34-35页 |
| 3.3.3 Q-mark扫描系统 | 第35页 |
| 3.4 测试与表征 | 第35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 飞秒激光烧蚀石墨的实验研究 | 第36-43页 |
| 4.1 实验研究 | 第36-38页 |
| 4.1.1 材料烧蚀面积和激光能量的关系 | 第36-37页 |
| 4.1.2 材料烧蚀深度和激光能量的关系 | 第37-38页 |
| 4.2 高斯飞秒激光峰值功率 | 第38-39页 |
| 4.3 单脉冲烧蚀阈值的计算 | 第39-40页 |
| 4.4 多脉冲累积效应的实验研究 | 第40-42页 |
| 4.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第五章 飞秒激光诱导石墨表面周期性结构的实验研究 | 第43-50页 |
| 5.1 周期性结构的整体特征 | 第43-44页 |
| 5.2 脉冲数量对周期性结构的影响 | 第44-46页 |
| 5.3 激光能量对周期性结构的影响 | 第46-48页 |
| 5.4 波纹结构的周期计算 | 第48-49页 |
| 5.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第六章 总结与展望 | 第50-51页 |
| 6.1 总结 | 第50页 |
| 6.2 展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 硕士期间参与的科研项目 | 第58-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及奖励 | 第59页 |
