溶胶—凝胶法制备ATO透明导电薄膜的光电性质

摘要	第3-4页
ABSTRACT	第4页
1 绪论	第7-16页
1.1 薄膜的定义及特性	第7-12页
1.2 薄膜材料研究现状	第12-13页
1.3 透明导电薄膜现状及发展前景	第13-14页
1.4 全文结构及课题意义	第14-16页
2 二氧化锡透明导电薄膜技术基础	第16-24页
2.1 二氧化锡薄膜结构和性能	第16-18页
2.2 二氧化锡薄膜制备方法	第18-24页
3 溶胶-凝胶浸渍法制备掺锑二氧化锡薄膜	第24-35页
3.1 概述	第24-25页
3.2 前驱物和掺杂剂的选用	第25-26页
3.3 实验仪器和设备	第26页
3.4 掺锑二氧化锡薄膜的制备过程	第26-29页
3.5 测试方法	第29-35页
4 掺锑二氧化锡薄膜的结构、形貌和成膜机理	第35-46页
4.1 薄膜的组成和结构分析	第35-40页
4.2 薄膜表面形貌分析	第40-44页
4.3 ATO 膜玻璃的化学稳定性	第44页
4.4 本章小结	第44-46页
5 掺锑二氧化锡薄膜的电学和光学性质	第46-52页
5.1 薄膜方块电阻	第46-48页
5.2 薄膜的光学性质分析	第48-51页
5.3 本章小结	第51-52页
6 总结与展望	第52-54页
致谢	第54-55页
参考文献	第55-59页
附录 作者在攻读硕士期间发表的论文	第59页