阳极氧化铝平面波导的设计及其椭圆偏振光谱表征
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-28页 |
| 1.1 平面波导 | 第11-18页 |
| 1.1.1 平面波导概念 | 第11页 |
| 1.1.2 平面波导基本原理 | 第11-13页 |
| 1.1.3 三层平面波导模式 | 第13-18页 |
| 1.2 椭圆偏振光谱 | 第18-21页 |
| 1.2.1 椭偏光谱的特点 | 第18-20页 |
| 1.2.2 椭偏光谱的应用 | 第20-21页 |
| 1.3 椭偏基本原理 | 第21-27页 |
| 1.3.1 多层膜反射 | 第21-24页 |
| 1.3.2 ψ和△的测量 | 第24-27页 |
| 本章小结 | 第27-28页 |
| 第二章 平面波导折射率的设计 | 第28-43页 |
| 2.1 波导理论对模式的确定和驻波中心偏移 | 第28-29页 |
| 2.2 计算结果 | 第29-35页 |
| 2.2.1 银膜厚度的确定 | 第31-32页 |
| 2.2.2 波导折射率的选择 | 第32-33页 |
| 2.2.3 特定参数下的模拟结果 | 第33-35页 |
| 2.3 FDTD 模拟条件的优化 | 第35-42页 |
| 2.3.1 模型的正确性分析 | 第35-36页 |
| 2.3.2 FDTD 网格划分优化 | 第36-37页 |
| 2.3.3 PML 反射率的优化 | 第37-38页 |
| 2.3.4 x 方向尺度的优化 | 第38-39页 |
| 2.3.5 细化网格的优化 | 第39-40页 |
| 2.3.6 2D&3D 模型对比优化 | 第40-41页 |
| 2.3.7 优化结果 | 第41-42页 |
| 本章小节 | 第42-43页 |
| 第三章 AAO 的制作与表征 | 第43-55页 |
| 3.1 AAO 简介 | 第43-45页 |
| 3.1.1 AAO 制备工艺 | 第43-44页 |
| 3.1.2 AAO 形成机理 | 第44-45页 |
| 3.2 AAO 的制作及结果 | 第45页 |
| 3.3 AAO 薄膜的椭偏表征及结论 | 第45-54页 |
| 3.3.1 玻璃的椭偏光谱及数据分析 | 第45-48页 |
| 3.3.2 Al 光学参数的测量 | 第48页 |
| 3.3.3 孔道层椭偏数据分析 | 第48-54页 |
| 本章小节 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
