基于压电驱动的二维运动平台的研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 压电驱动平台的国内外研究现状 | 第11-18页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第16-18页 |
| 1.2.3 国内外文献综述简析 | 第18页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第18-21页 |
| 第2章 压电驱动器的原理分析和结构设计 | 第21-33页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 压电驱动器的驱动原理分析 | 第21-26页 |
| 2.2.1 X方向驱动原理分析 | 第21-23页 |
| 2.2.2 Y方向驱动原理分析 | 第23-25页 |
| 2.2.3 压电驱动器的激励信号时序规划 | 第25-26页 |
| 2.3 压电驱动器的基本结构与静力学模型 | 第26-31页 |
| 2.3.1 压电驱动器的基本结构 | 第26-27页 |
| 2.3.2 压电驱动器弯曲运动时的静力学模型 | 第27-31页 |
| 2.4 压电驱动器弯曲变形刚度分析 | 第31-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 压电驱动器的仿真计算与特性分析 | 第33-43页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 压电驱动器的结构参数分析 | 第33-39页 |
| 3.3 压电驱动器的瞬态分析 | 第39-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 压电驱动器的实验研究 | 第43-60页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 压电驱动器和驱动平台的研制 | 第43-44页 |
| 4.3 压电驱动器自身输出特性测试 | 第44-48页 |
| 4.3.1 驱动器自身刚度测试 | 第46页 |
| 4.3.2 驱动足在不同电压信号下的响应 | 第46-48页 |
| 4.4 运动平台X轴输出性能测试 | 第48-53页 |
| 4.4.1 箝位电压与速度关系测试 | 第48-49页 |
| 4.4.2 驱动电压与速度关系测试 | 第49-50页 |
| 4.4.3 驱动频率与速度关系测试 | 第50-51页 |
| 4.4.4 负载速度关系测试 | 第51-52页 |
| 4.4.5 平台在不同上升时间电压下的响应 | 第52-53页 |
| 4.5 运动平台Y轴输出性能测试 | 第53-58页 |
| 4.5.1 箝位电压与速度关系测试 | 第53-54页 |
| 4.5.2 驱动电压与速度关系测试 | 第54-55页 |
| 4.5.3 驱动频率与速度关系测试 | 第55-57页 |
| 4.5.4 负载与速度关系测试 | 第57-58页 |
| 4.5.5 平台在不同上升时间电压下的响应 | 第58页 |
| 4.6 X方向运动时对Y方向的耦合效应 | 第58-59页 |
| 4.7 本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
