| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 课题的背景及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 膜片式EFPI光纤声压传感器的研究现状 | 第9-14页 |
| 1.2.1 平面膜片式EFPI光纤声压传感器研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.2 波纹膜片式EFPI光纤声压传感器研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 波纹膜片的研究现状 | 第14-18页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 膜片式EFPI光纤声压传感器原理的研究 | 第19-28页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 光纤F-P腔原理 | 第19-21页 |
| 2.3 光纤F-P腔解调原理简介 | 第21-22页 |
| 2.4 膜片形变的理论分析 | 第22-27页 |
| 2.4.1 平面膜片形变的理论 | 第23-24页 |
| 2.4.2 波纹膜片形变的理论 | 第24-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 波纹膜片式EFPI光纤声压传感器的制作 | 第28-51页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 波纹膜片制作工艺的研究 | 第28-37页 |
| 3.2.1 光刻技术 | 第28-31页 |
| 3.2.2 反应离子刻蚀技术 | 第31-33页 |
| 3.2.3 磁控溅射技术 | 第33-35页 |
| 3.2.4 热压纳米压印技术 | 第35-37页 |
| 3.3 EFPI光纤声压传感器的波纹膜片的制作 | 第37-46页 |
| 3.3.1 金属波纹膜片的制作 | 第38-41页 |
| 3.3.2 PET波纹膜片的制作 | 第41-46页 |
| 3.4 波纹膜片式EFPI光纤声压传感器的封装 | 第46-50页 |
| 3.4.1 基于金属波纹膜片的EFPI光纤声压传感器的封装 | 第46-48页 |
| 3.4.2 基于PET波纹膜片的EFPI光纤声压传感器的封装 | 第48-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 膜片式EFPI光纤声压传感器的性能测试 | 第51-68页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 膜片式EFPI光纤声压传感器测试方法 | 第51页 |
| 4.3 膜片式EFPI光纤声压传感器测试装置 | 第51-55页 |
| 4.4 膜片式EFPI光纤声压传感器的性能测试 | 第55-67页 |
| 4.4.1 光纤传感器测量参数简介 | 第55-57页 |
| 4.4.2 基于金属波纹膜片的EFPI光纤声压传感器声学性能测试 | 第57-61页 |
| 4.4.3 基于PET波纹膜片的EFPI光纤声压传感器声学性能测试 | 第61-67页 |
| 4.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
