| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-14页 |
| 1.2 ZnO的基本性质 | 第14-17页 |
| 1.2.1 晶体结构 | 第14-15页 |
| 1.2.2 电子能带 | 第15-16页 |
| 1.2.3 性能参数 | 第16-17页 |
| 1.3 ZnO薄膜的制备 | 第17-21页 |
| 1.3.1 衬底的选择 | 第17-18页 |
| 1.3.2 射频磁控溅射法 | 第18-19页 |
| 1.3.3 化学气相沉积法 | 第19-20页 |
| 1.3.4 溶胶-凝胶法 | 第20页 |
| 1.3.5 化学浴沉积法 | 第20-21页 |
| 1.4 ZnO薄膜的应用 | 第21-22页 |
| 1.5 本文的研究内容及意义 | 第22-24页 |
| 第2章 实验原理与方法 | 第24-34页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 本文薄膜制备原理 | 第24-26页 |
| 2.2.1 SG-ZnO衬底的制备原理 | 第24-25页 |
| 2.2.2 CBD薄膜的制备原理 | 第25-26页 |
| 2.3 实验设备及化学试剂 | 第26-27页 |
| 2.3.1 实验设备 | 第26-27页 |
| 2.3.2 化学试剂 | 第27页 |
| 2.4 分析手段及基本原理 | 第27-34页 |
| 2.4.1 结构与形貌 | 第28-31页 |
| 2.4.1.1 X射线衍射技术 | 第28-29页 |
| 2.4.1.2 原子力显微技术 | 第29-30页 |
| 2.4.1.3 扫描电子显微技术 | 第30页 |
| 2.4.1.4 透射电子显微技术 | 第30-31页 |
| 2.4.2 物理化学性能 | 第31-34页 |
| 2.4.2.1 紫外-可见光光谱分析技术 | 第31-32页 |
| 2.4.2.2 接触角测试技术 | 第32-34页 |
| 第3章 CBD法制备ZnO薄膜择优生长取向的研究 | 第34-64页 |
| 3.1 衬底的影响 | 第34-40页 |
| 3.1.1 玻璃衬底 | 第34-36页 |
| 3.1.2 SG-ZnO衬底 | 第36-40页 |
| 3.2 水浴温度的影响 | 第40-42页 |
| 3.3 水浴时间的影响 | 第42-46页 |
| 3.4 溶剂对薄膜制备的影响 | 第46-64页 |
| 3.4.1 乙醇/水溶剂体系 | 第46-52页 |
| 3.4.2 常见溶剂/水的混合溶剂体系 | 第52-60页 |
| 3.4.3 其它溶剂体系 | 第60-64页 |
| 第4章 CBD法制备ZnO薄膜的生长机制及性能的研究 | 第64-76页 |
| 4.1 CBD法控制薄膜生长取向的机制研究 | 第64-67页 |
| 4.2 CBD法制备非极性ZnO薄膜取向的研究 | 第67-69页 |
| 4.3 CBD法制备ZnO薄膜表面润湿性的研究 | 第69-72页 |
| 4.4 CBD法制备ZnO薄膜光学性能的研究 | 第72-76页 |
| 第5章 结论与展望 | 第76-78页 |
| 5.1 结论 | 第76-77页 |
| 5.2 展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-88页 |
| 致谢 | 第88-90页 |
| 攻读硕士学位期间已发表和在投的论文 | 第90页 |