| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 铁电材料和有机铁电材料与器件 | 第9-12页 |
| 1.1.1 铁电材料 | 第9-12页 |
| 1.1.2 有机铁电材料与器件 | 第12页 |
| 1.2 铁电薄膜的制备 | 第12-15页 |
| 1.2.1 溶胶-凝胶法(sol-gel) | 第13页 |
| 1.2.2 真空蒸渡法(Vacuum evaporation) | 第13-14页 |
| 1.2.3 磁控溅射沉积法(Sputtering) | 第14-15页 |
| 1.3 铁电薄膜的表征 | 第15页 |
| 1.4 本文研究的背景、内容与意义 | 第15-18页 |
| 第二章 不同参数的P(VDF-TRFE)铁电薄膜的制备与表征 | 第18-29页 |
| 2.1 不同参数的P(VDF-TRFE)铁电薄膜的制备 | 第18-20页 |
| 2.2 不同参数的P(VDF-TRFE)铁电薄膜形貌表征 | 第20-24页 |
| 2.3 不同溶剂的P(VDF-TRFE)铁电薄膜电容器件的电学性能表征 | 第24-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 克酮酸分子铁电薄膜的制备与形貌表征 | 第29-37页 |
| 3.1 物理气相沉积法制备克酮酸分子铁电薄膜 | 第29-30页 |
| 3.2 验证克酮酸分子铁电薄膜的成分 | 第30-34页 |
| 3.3 克酮酸分子铁电薄膜的形貌表征 | 第34-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 克酮酸铁电薄膜电学性能的表征 | 第37-45页 |
| 4.1 克酮酸薄膜电容器件的制备 | 第37-38页 |
| 4.2 克酮酸铁电薄膜电容器的电学性能测试 | 第38-44页 |
| 4.2.1 克酮酸薄膜的微晶结构 | 第38-40页 |
| 4.2.2 测量克酮酸薄膜电容器件电学曲线 | 第40-44页 |
| 4.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 结论与展望 | 第45-48页 |
| 5.1 结论 | 第45-46页 |
| 5.2 展望 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |
| 致谢 | 第52-54页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第54页 |