| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 磷化铟介绍 | 第9-10页 |
| 1.2 液封直拉法生长磷化铟单晶 | 第10-11页 |
| 1.3 设计磷化铟高压单晶炉的意义 | 第11-12页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第12-15页 |
| 第2章 磷化铟单晶炉机械构成 | 第15-21页 |
| 2.1 磷化铟高压单晶炉原理 | 第15-16页 |
| 2.2 磷化铟单晶炉主体结构 | 第16-17页 |
| 2.3 炉体部件及功能 | 第17-18页 |
| 2.4 真空及压力系统 | 第18-19页 |
| 2.5 本章小结 | 第19-21页 |
| 第3章 电气控制系统设计 | 第21-37页 |
| 3.1 电气控制柜构成及控制对象 | 第21-23页 |
| 3.1.1 电气控制柜结构 | 第21-22页 |
| 3.1.2 电气柜控制对象 | 第22-23页 |
| 3.2 PLC和触摸屏选型 | 第23-24页 |
| 3.3 设备报警保护设计 | 第24-26页 |
| 3.4 加热电源柜 | 第26-28页 |
| 3.4.1 三段式加热 | 第26页 |
| 3.4.2 磷源加热和视窗加热 | 第26-28页 |
| 3.5 三段加热控制部分设计 | 第28-35页 |
| 3.5.1 欧陆3504控温 | 第29-30页 |
| 3.5.2 温度控制电路 | 第30-31页 |
| 3.5.3 温度偏差对拉晶的影响 | 第31-34页 |
| 3.5.4 加热温度显示 | 第34-35页 |
| 3.6 本章小结 | 第35-37页 |
| 第4章 上下传动的速度控制设计 | 第37-55页 |
| 4.1 上、下传动中快慢速提升技术指标 | 第37-38页 |
| 4.2 上、下传动中快慢速设计难点 | 第38-39页 |
| 4.3 上传动与下传动方案设计 | 第39-41页 |
| 4.3.1 上、下传动的工作原理 | 第39-40页 |
| 4.3.2 提升系统方案设计 | 第40页 |
| 4.3.3 单电机结构的电气性能 | 第40-41页 |
| 4.3.4 上、下传动的旋转设计 | 第41页 |
| 4.4 晶埚升与晶埚转速度系统设计 | 第41-50页 |
| 4.4.1 晶升系统电气示意图 | 第42-43页 |
| 4.4.2 晶升或降慢速给定 | 第43-44页 |
| 4.4.3 晶升控制操作流程图及梯形图 | 第44-46页 |
| 4.4.4 晶慢速给定与显示的PLC程序 | 第46-48页 |
| 4.4.5 速度控制精度标定 | 第48-49页 |
| 4.4.6 使用软件标定速度精度 | 第49-50页 |
| 4.5 速度偏差对成晶的影响 | 第50-53页 |
| 4.6 速度系统实际运行画面 | 第53-54页 |
| 4.7 本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 微型网路控制系统设计 | 第55-75页 |
| 5.1 微型网络控制系统设计思路 | 第55-62页 |
| 5.1.1 技术需求 | 第55-56页 |
| 5.1.2 类似应用案例 | 第56-58页 |
| 5.1.3 MODBUS通讯 | 第58-59页 |
| 5.1.4 温度显示解决方法 | 第59-60页 |
| 5.1.5 触摸屏的MultiTalk与双端口功能 | 第60-61页 |
| 5.1.6 加热温度信号在系统间传输 | 第61-62页 |
| 5.2 构建微型网络控制系统 | 第62-66页 |
| 5.2.1 监控电脑的通讯方式 | 第62-64页 |
| 5.2.2 TCP/IP协议 | 第64-65页 |
| 5.2.3 控制系统的通讯结构 | 第65-66页 |
| 5.3 软件VT STIDIO的设置 | 第66-72页 |
| 5.4 现场调试结果 | 第72-73页 |
| 5.5 本章小结 | 第73-75页 |
| 结论 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 致谢 | 第81页 |