| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 等离子体的概述 | 第10-14页 |
| 1.2 甚高频等离子体的概述 | 第14-18页 |
| 1.3 光谱测量的概述 | 第18-20页 |
| 1.4 发射光谱概述 | 第20-21页 |
| 1.5 本文研究内容与安排 | 第21-22页 |
| 2 实验装置及实验测量 | 第22-35页 |
| 2.1 放电系统 | 第23-24页 |
| 2.1.1 电路系统 | 第23-24页 |
| 2.1.2 气路系统 | 第24页 |
| 2.2 测量系统 | 第24-25页 |
| 2.3 测量方法 | 第25-35页 |
| 2.3.1 光谱测量 | 第25-26页 |
| 2.3.2 微分光谱的测量方法 | 第26-32页 |
| 2.3.3 不同测量仪器对实验数据的影响 | 第32-35页 |
| 3 实验结果 | 第35-51页 |
| 3.1 不同参数对等离子体放电均匀性的影响 | 第36-40页 |
| 3.1.1 不同气压、功率对等离子体放电均匀性的影响 | 第36-37页 |
| 3.1.2 不同相位对等离子体放电均匀性的影响 | 第37-40页 |
| 3.2 加入绝缘介质对等离子体放电均匀性的影响 | 第40-44页 |
| 3.2.1 不同位置加入绝缘介质对等离子体放电均匀性的影响 | 第40-43页 |
| 3.2.2 加入不同厚度绝缘介质对等离子体放电均匀性的影响 | 第43-44页 |
| 3.3 放电回路对等离子体密度均匀性的影响 | 第44-51页 |
| 3.3.1 不同回路对等离子体放电均匀性的影响 | 第44-48页 |
| 3.3.2 上极板为射频驱动电极对等离子体放电均匀性的影响 | 第48-51页 |
| 4 结论与展望 | 第51-53页 |
| 4.1 结论 | 第51-52页 |
| 4.2 实验的不足与展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
