| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 铌酸锂晶体的结构与性质 | 第9-14页 |
| 1.1.1 基本结构 | 第9-11页 |
| 1.1.2 理化性质 | 第11-12页 |
| 1.1.3 生长制备 | 第12-14页 |
| 1.2 铌酸锂晶体的应用 | 第14-15页 |
| 1.3 铌酸锂晶体超精密加工现状 | 第15-17页 |
| 1.3.1 超精密加工技术简介 | 第15-16页 |
| 1.3.2 铌酸锂晶体研究现状 | 第16-17页 |
| 1.4 本课题的来源及意义 | 第17-18页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第18-19页 |
| 2 铌酸锂晶体纳米力学研究 | 第19-32页 |
| 2.1 纳米压痕实验技术 | 第19-23页 |
| 2.1.1 概述 | 第19-20页 |
| 2.1.2 纳米压痕实验原理 | 第20-23页 |
| 2.2 实验条件 | 第23-25页 |
| 2.2.1 实验仪器 | 第23-24页 |
| 2.2.2 实验步骤 | 第24-25页 |
| 2.3 实验结果及讨论 | 第25-31页 |
| 2.3.1 载荷-位移曲线和原位扫描图 | 第25-28页 |
| 2.3.2 弹性模量和硬度 | 第28-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 基于正交试验设计的铌酸锂晶体化学机械抛光工艺研究 | 第32-49页 |
| 3.1 正交试验设计简介 | 第32-36页 |
| 3.1.1 概念和原理 | 第32-33页 |
| 3.1.2 正交表及其基本性质 | 第33-34页 |
| 3.1.3 正交试验的基本内容 | 第34-36页 |
| 3.2 化学机械抛光简介 | 第36-39页 |
| 3.2.1 概述 | 第36-37页 |
| 3.2.2 影响化学机械抛光的因素 | 第37-39页 |
| 3.3 实验条件 | 第39-42页 |
| 3.3.1 因素、水平和指标选择 | 第39-41页 |
| 3.3.2 实验仪器和检测设备 | 第41-42页 |
| 3.4 实验结果及讨论 | 第42-47页 |
| 3.4.1 极差分析 | 第43-45页 |
| 3.4.2 方差分析 | 第45-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 4 化学机械抛光中化学作用与机械作用研究 | 第49-58页 |
| 4.1 氧化剂的化学作用研究 | 第50-52页 |
| 4.1.1 实验条件 | 第50-51页 |
| 4.1.2 实验结果及讨论 | 第51-52页 |
| 4.2 磨粒的机械作用研究 | 第52-54页 |
| 4.2.1 实验条件 | 第52-53页 |
| 4.2.2 实验结果及讨论 | 第53-54页 |
| 4.3 化学与机械的交互作用研究 | 第54-57页 |
| 4.3.1 实验条件 | 第54-55页 |
| 4.3.2 实验结果及讨论 | 第55-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 5 抛光液的重复利用研究 | 第58-63页 |
| 5.1 二氧化硅抛光液的配制 | 第58-59页 |
| 5.2 抛光液二次使用实验 | 第59-61页 |
| 5.3 混合新旧抛光液实验 | 第61-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |