射频空心阴极放电维持机制的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 空心阴极放电机理 | 第9-10页 |
| 1.3 射频空心阴极放电加热机制的研究 | 第10-12页 |
| 1.4 国内外研究现状 | 第12-13页 |
| 1.5 论文主要内容 | 第13-14页 |
| 第2章 射频空心阴极放电的实验系统 | 第14-22页 |
| 2.1 等离子体反应器 | 第14-15页 |
| 2.2 真空系统 | 第15页 |
| 2.3 射频电源及匹配网络 | 第15-16页 |
| 2.4 探针诊断设备 | 第16-21页 |
| 2.4.1 朗缪尔探针结构及使用条件 | 第16-17页 |
| 2.4.2 朗缪尔探针的电压-电流特性 | 第17-19页 |
| 2.4.3 朗缪尔探针分析方法 | 第19-21页 |
| 2.5 本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 放电参数对射频空心阴极放电特征的影响 | 第22-28页 |
| 3.1 放电的一般图像 | 第22-23页 |
| 3.2 电压的影响 | 第23-24页 |
| 3.3 pD值的影响 | 第24-26页 |
| 3.4 频率的影响 | 第26-27页 |
| 3.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第4章 射频空心阴极放电的流体模拟 | 第28-47页 |
| 4.1 模型的建立与数值计算方法 | 第28-32页 |
| 4.1.1 流体模型的放电结构 | 第28页 |
| 4.1.2 放电的主要反应过程 | 第28-29页 |
| 4.1.3 放电的主要流体方程 | 第29-31页 |
| 4.1.4 边界条件及技术流程 | 第31-32页 |
| 4.2 射频空心阴极放电的基本特性 | 第32-35页 |
| 4.2.1 放电的时间空间分布特性 | 第32-33页 |
| 4.2.2 稳定放电下的基本特性 | 第33-35页 |
| 4.3 放电参数的影响 | 第35-45页 |
| 4.3.1 电压对放电特性的影响 | 第35-38页 |
| 4.3.2 孔径和气压变化对放电特性的影响 | 第38-43页 |
| 4.3.3 频率变化对放电特性的影响 | 第43-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 结论 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53页 |
