| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 类金刚石薄膜 | 第9-16页 |
| 1.2.1 DLC薄膜的种类 | 第9-11页 |
| 1.2.2 DLC薄膜的制备及应用 | 第11-14页 |
| 1.2.3 DLC薄膜机械性能改善研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3 深冷处理 | 第16-18页 |
| 1.3.1 深冷处理的发展及应用 | 第16页 |
| 1.3.2 深冷处理的工艺 | 第16-17页 |
| 1.3.3 深冷处理的作用机制 | 第17-18页 |
| 1.3.4 深冷处理的研究现状 | 第18页 |
| 1.4 本课题的研究内容及方法 | 第18-21页 |
| 1.4.1 研究内容 | 第18-19页 |
| 1.4.2 研究方法 | 第19-21页 |
| 第二章 实验材料与实验方法 | 第21-29页 |
| 2.1 DLC薄膜的制备 | 第21-22页 |
| 2.1.1 基体材料 | 第21页 |
| 2.1.2 镀膜设备及工艺步骤 | 第21-22页 |
| 2.2 深冷处理设备及工艺步骤 | 第22-23页 |
| 2.3 DLC/合金钢的机械性能分析检测 | 第23-26页 |
| 2.3.1 纳米硬度及纳米划痕测试 | 第23-24页 |
| 2.3.2 膜基结合强度及断裂韧性测试 | 第24-25页 |
| 2.3.3 摩擦磨损性能测试 | 第25-26页 |
| 2.4 DLC/合金钢的微观分析检测 | 第26-28页 |
| 2.4.1 组织形貌与结构的表征 | 第26-27页 |
| 2.4.2 膜基界面元素分布的测试 | 第27页 |
| 2.4.3 残余应力的测试 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 深冷处理对DLC/W9高速钢的膜基结合强度影响及机理研究 | 第29-39页 |
| 3.1 深冷前后DLC/高速钢的膜基结合强度分析 | 第29-31页 |
| 3.1.1 洛氏压痕法SEM定性分析 | 第29-30页 |
| 3.1.2 纳米划痕法定量分析 | 第30-31页 |
| 3.2 深冷前后DLC薄膜的形貌与硬度分析 | 第31-33页 |
| 3.2.1 表面AFM形貌分析 | 第31页 |
| 3.2.2 薄膜纳米硬度分析 | 第31-33页 |
| 3.3 深冷前后DLC/高速钢的界面元素分布分析 | 第33-34页 |
| 3.3.1 截面SEM形貌分析 | 第33-34页 |
| 3.3.2 截面EDS线扫描分析 | 第34页 |
| 3.4 深冷前后高速钢基体的微观组织分析 | 第34-36页 |
| 3.4.1 表面SEM组织形貌分析 | 第34-35页 |
| 3.4.2 XRD物相分析 | 第35-36页 |
| 3.5 深冷前后DLC/高速钢复合体系残余应力的分析 | 第36-37页 |
| 3.6 本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 深冷处理对DLC/304不锈钢的摩擦磨损性能影响及机理研究 | 第39-51页 |
| 4.1 深冷处理对DLC/不锈钢的摩擦磨损性能影响 | 第39-41页 |
| 4.1.1 深冷处理对摩擦曲线及磨痕形貌的影响 | 第39-40页 |
| 4.1.2 深冷处理对薄膜磨损量的影响 | 第40-41页 |
| 4.2 深冷处理对DLC/不锈钢的表面形貌及粗糙度影响 | 第41-43页 |
| 4.3 深冷处理对DLC/不锈钢复合体系的硬度与弹性模量影响 | 第43-45页 |
| 4.3.1 深冷前后不锈钢基体纳米硬度的变化 | 第43页 |
| 4.3.2 深冷处理对DLC薄膜纳米硬度与弹性模量的影响 | 第43-45页 |
| 4.4 深冷处理对DLC/不锈钢复合体系的断裂韧性影响 | 第45-48页 |
| 4.5 深冷处理对DLC/不锈钢复合体系的残余应力影响 | 第48-49页 |
| 4.6 本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 总结与展望 | 第51-53页 |
| 5.1 本文的主要研究工作及结论 | 第51-52页 |
| 5.2 展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 硕士期间发表论文 | 第61页 |
