| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 前言 | 第10页 |
| 1.2 超级电容器介绍 | 第10-16页 |
| 1.2.1 超级电容器结构与分类 | 第10-11页 |
| 1.2.2 超级电容器工作原理 | 第11-14页 |
| 1.2.3 超级电容器特点与应用 | 第14-16页 |
| 1.3 MEMS碳材料超级电容器研究进展 | 第16-22页 |
| 1.4 本文研究意义及内容 | 第22-24页 |
| 第二章 SU-8光刻胶薄膜碳化制备片上多孔碳微电极 | 第24-38页 |
| 2.1 前言 | 第24页 |
| 2.2 SU-8胶高温碳化制备多孔碳微电极 | 第24-28页 |
| 2.2.1 SU-8光刻胶 | 第24-25页 |
| 2.2.2 实验药品、设备及表征方式 | 第25-26页 |
| 2.2.3 高温碳化制备流程 | 第26-28页 |
| 2.3 碳化SU-8胶表面分析 | 第28-29页 |
| 2.3.1 扫描电子显微镜分析 | 第28-29页 |
| 2.3.2 拉曼光谱分析 | 第29页 |
| 2.4 电化学性能表征测试 | 第29-36页 |
| 2.4.1 测试体系 | 第29页 |
| 2.4.2 循环伏安测试 | 第29-31页 |
| 2.4.3 恒流充放电测试 | 第31-34页 |
| 2.4.4 交流阻抗谱测试 | 第34-36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-38页 |
| 第三章 SU-8胶掺杂柠檬酸镁微电极设计与碳化制备 | 第38-48页 |
| 3.1 前言 | 第38页 |
| 3.2 制备柠檬酸镁混合的SU-8微电极 | 第38-39页 |
| 3.3 碳化制备SU-8胶掺杂柠檬酸镁微电极表征 | 第39-47页 |
| 3.3.1 探究柠檬酸镁含量对电极材料性能影响 | 第39-45页 |
| 3.3.2 SU-8胶掺杂柠檬酸镁碳化制备电极材料物理性能研究 | 第45-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 KOH活化基于SU-8胶微电极研究与碳化制备 | 第48-60页 |
| 4.1 前言 | 第48页 |
| 4.2 KOH活化基于SU-8胶微电极 | 第48-54页 |
| 4.2.1 制备流程 | 第48-49页 |
| 4.2.2 不同比例KOH活化碳化SU-8胶物理表征 | 第49-50页 |
| 4.2.3 CV循环伏安测试 | 第50-51页 |
| 4.2.4 恒流充放电测试 | 第51-53页 |
| 4.2.5 交流阻抗测试 | 第53-54页 |
| 4.3 KOH活化掺杂柠檬酸镁的SU-8光刻胶碳化制备微电极 | 第54-58页 |
| 4.3.1 各改善方式最佳样品的物理表征比较 | 第54-55页 |
| 4.3.2 各改善方式最佳样品的电化学性能比较 | 第55-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 基于斜光刻技术的SU-8胶三维微阵列制备 | 第60-70页 |
| 5.1 前言 | 第60页 |
| 5.2 "X"型微阵列结构参数设计 | 第60-62页 |
| 5.3 基于斜光刻技术的SU-8胶三维微阵列的制备 | 第62-68页 |
| 5.3.1 SU-8光刻胶光刻工艺流程 | 第62-65页 |
| 5.3.2 阵列结构坍塌影响分析 | 第65-66页 |
| 5.3.3 阵列孔洞堵塞影响分析 | 第66-68页 |
| 5.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 工作总结 | 第70-71页 |
| 6.2 工作展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及所取得的研究成果 | 第82页 |
