| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-28页 |
| 1.1 亚表面成像技术 | 第11-19页 |
| 1.1.1 亚表面成像技术的需求 | 第11-12页 |
| 1.1.2 亚表面材料检测方法 | 第12-15页 |
| 1.1.3 基于SPM的亚表面成像技术的发展 | 第15-19页 |
| 1.2 声学原子力显微镜 | 第19-26页 |
| 1.2.1 超声原子力显微镜的发展 | 第20-24页 |
| 1.2.2 超声原子力显微镜的应用研究进展 | 第24-25页 |
| 1.2.3 总结 | 第25-26页 |
| 1.3 论文课题来源与主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 超声振动调制原子力显微镜的成像机理理论分析 | 第28-42页 |
| 2.1 悬臂梁非线性振动 | 第28-34页 |
| 2.1.1 自由振动的悬臂梁模型 | 第28-30页 |
| 2.1.2 几种简化的接触共振模型 | 第30-34页 |
| 2.2 探针-样品接触作用模型 | 第34-35页 |
| 2.3 结果分析 | 第35-41页 |
| 2.3.1 模型的可靠性分析及模型之间的对比 | 第35-37页 |
| 2.3.2 影响因素的分析 | 第37-41页 |
| 2.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 基于超声原子力显微镜亚表面结构成像的有限元分析 | 第42-58页 |
| 3.1 亚表面结构特性对成像衬度影响 | 第42-49页 |
| 3.1.1 有限元建模与方法 | 第42-44页 |
| 3.1.2 内部结构掩埋深度 | 第44-46页 |
| 3.1.3 内部结构尺寸 | 第46-47页 |
| 3.1.4 深度及尺寸的耦合影响 | 第47-48页 |
| 3.1.5 内部结构材料特性 | 第48-49页 |
| 3.1.6 小结 | 第49页 |
| 3.2 成像条件参数对成像衬度影响 | 第49-56页 |
| 3.2.1 等效接触刚度 | 第50-52页 |
| 3.2.2 检测光点位置 | 第52-55页 |
| 3.2.3 水平间距分辨力 | 第55-56页 |
| 3.3 本章小结 | 第56-58页 |
| 第四章 超声原子力显微镜的系统构建及亚表面成像应用实验 | 第58-78页 |
| 4.1 超声原子力显微镜的系统平台构建 | 第58-68页 |
| 4.1.1 实验系统搭建 | 第59-61页 |
| 4.1.2 原子力声学显微镜 | 第61-62页 |
| 4.1.3 超声原子力显微镜 | 第62页 |
| 4.1.4 缺陷检测 | 第62-65页 |
| 4.1.5 石墨缺陷样品杨氏模量的第一性原理计算 | 第65-68页 |
| 4.1.6 小结 | 第68页 |
| 4.2 参考样品的设计、加工及测试 | 第68-73页 |
| 4.2.1 参考样品的设计、加工及测试 | 第68-71页 |
| 4.2.2 颗粒复合样品的设计与加工 | 第71-73页 |
| 4.3 在颗粒及碳纳米管复合材料上的成像应用 | 第73-77页 |
| 4.3.1 在颗粒复合样品上的成像检测 | 第73-76页 |
| 4.3.2 在碳纳米管复合样品上的成像检测 | 第76-77页 |
| 4.4 本章小结 | 第77-78页 |
| 第五章 环境因素对原子力显微镜测量精度的影响分析 | 第78-93页 |
| 5.1 研究背景 | 第79-80页 |
| 5.2 整机环境影响实验设计 | 第80-82页 |
| 5.3 AFM整机的环境对尺寸测量误差的影响 | 第82-88页 |
| 5.3.1 实验安排 | 第82-84页 |
| 5.3.2 结果与讨论 | 第84-88页 |
| 5.4 AFM样品局部的环境对尺寸测量误差的影响 | 第88-91页 |
| 5.4.1 实验安排 | 第88-89页 |
| 5.4.2 结果与讨论 | 第89-91页 |
| 5.5 课题来源及本章小结 | 第91-93页 |
| 第六章 总结与展望 | 第93-97页 |
| 6.1 主要工作总结 | 第93-95页 |
| 6.1.1 论文研究内容总结 | 第93-94页 |
| 6.1.2 论文创新性总结 | 第94-95页 |
| 6.2 展望 | 第95-97页 |
| 参考文献 | 第97-104页 |
| 致谢 | 第104-106页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的研究成果 | 第106页 |
