桌面扫描电子显微镜高压控制系统设计
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 引言 | 第8-12页 |
| 1.1 扫描电子显微镜的发展与应用 | 第8-10页 |
| 1.1.1 扫描电子显微镜的发展 | 第8-9页 |
| 1.1.2 扫描电子显微镜的应用 | 第9-10页 |
| 1.2 课题的研究背景与意义 | 第10页 |
| 1.2.1 研究的背景 | 第10页 |
| 1.2.2 研究的意义 | 第10页 |
| 1.3 本论文主要研究的内容 | 第10-12页 |
| 第2章 高压系统整体结构设计 | 第12-15页 |
| 2.1 桌面扫描电子显微镜的整体结构 | 第12-13页 |
| 2.2 高压系统整体结构设计 | 第13-15页 |
| 第3章 高压控制系统硬件电路设计 | 第15-35页 |
| 3.1 高压控制系统硬件电路的总体结构 | 第15-17页 |
| 3.2 FPGA控制模块 | 第17-18页 |
| 3.3 数模转换模块 | 第18-20页 |
| 3.3.1 数模转换模块电路 | 第18-19页 |
| 3.3.2 数模转换电路关键器件选择 | 第19-20页 |
| 3.4 电子束流检测模块设计 | 第20-24页 |
| 3.4.1 电子束流检测模块电路 | 第20-22页 |
| 3.4.2 电子束流检测电路关键器件选择 | 第22-24页 |
| 3.5 加速电压模块和灯丝电压控制模块 | 第24-27页 |
| 3.5.1 加速电压控制电路 | 第24-26页 |
| 3.5.2 加速电压控制电路关键器件选择 | 第26页 |
| 3.5.3 灯丝电压控制电路 | 第26-27页 |
| 3.6 升压与倍压电路模块设计 | 第27-29页 |
| 3.6.1 升压电路模块 | 第27-28页 |
| 3.6.2 倍压电路模块 | 第28-29页 |
| 3.6.3 高压变压器制作 | 第29页 |
| 3.7 灯丝电源模块设计 | 第29-31页 |
| 3.7.1 灯丝电源电路 | 第29-30页 |
| 3.7.2 灯丝变压器制作 | 第30-31页 |
| 3.8 系统PCB设计 | 第31-35页 |
| 第4章 高压控制系统软件设计 | 第35-49页 |
| 4.1 高压控制系统软件的设计思路 | 第35页 |
| 4.2 软件架构 | 第35-38页 |
| 4.2.1 系统复位 | 第35页 |
| 4.2.2 状态监测 | 第35-36页 |
| 4.2.3 系统处理流程 | 第36-38页 |
| 4.3 接口设计 | 第38-42页 |
| 4.3.1 状态监测接口 | 第38-39页 |
| 4.3.2 MCU接口 | 第39-40页 |
| 4.3.3 FPGA控制接口 | 第40-42页 |
| 4.4 电压信号程序设计 | 第42-43页 |
| 4.4.1 电压信号程序设计思路 | 第42-43页 |
| 4.4.2 电压信号程序设计流程图 | 第43页 |
| 4.5 振荡波程序设计 | 第43-49页 |
| 4.5.1 Xilinx ISE开发环境 | 第44-45页 |
| 4.5.2 高压振荡时钟程序设计流程图 | 第45-46页 |
| 4.5.3 高压振荡时钟程序代码 | 第46-48页 |
| 4.5.4 高压振荡时钟程序的仿真波形图 | 第48-49页 |
| 第5章 高压控制系统的测试 | 第49-52页 |
| 5.1 高压测试 | 第49-50页 |
| 5.2 系统整机联调 | 第50-52页 |
| 第6章 工作总结与展望 | 第52-54页 |
| 6.1 工作总结 | 第52-53页 |
| 6.2 展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
