首页--工业技术论文--金属学与金属工艺论文--刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具论文--磨具、研具论文

纳米级超精密磨削IC硅片的金刚石砂轮材料研究

摘要第6-8页
Abstract第8-9页
第一章 绪论第12-29页
    1.1 砂轮材料研究进展第13-19页
        1.1.1 砂轮粘结剂第13-16页
        1.1.2 金刚石磨料第16-17页
        1.1.3 砂轮造孔剂第17-18页
        1.1.4 砂轮特定填料第18-19页
    1.2 砂轮制造工艺研究进展第19-22页
        1.2.1 超细物料混合工艺第19-20页
        1.2.2 精密砂轮成型工艺第20-21页
        1.2.3 砂轮后热处理工艺第21-22页
    1.3 砂轮磨削试验和磨削机理研究进展第22-26页
        1.3.1 砂轮磨削试验第22-24页
        1.3.2 硅片磨削机理第24-26页
    1.4 研究意义和主要研究内容及创新点第26-29页
        1.4.1 研究意义第26-27页
        1.4.2 主要研究内容第27-28页
        1.4.3 创新点第28-29页
第二章 试样制备工艺及试验方法第29-44页
    2.1 试样混料工艺第29-32页
        2.1.1 树脂试样混料工艺第29-30页
        2.1.2 陶瓷试样混料工艺第30-32页
    2.2 试样压制工艺第32-35页
        2.2.1 树脂试样压制工艺第32-33页
        2.2.2 陶瓷砂轮压制工艺第33-35页
        2.2.3 力学性能测试试样第35页
    2.3 试样后热处理工艺第35-37页
        2.3.1 树脂试样二次固化工艺第36页
        2.3.2 陶瓷试样烧结工艺第36-37页
    2.4 砂轮试样修整工艺第37-40页
        2.4.1 修整工艺参数第37-39页
        2.4.2 砂轮试样精度评价第39-40页
    2.5 砂轮材料性能试验方法第40-42页
        2.5.1 结构分析方法第40-41页
        2.5.2 气孔测试方法第41页
        2.5.3 热性能分析方法第41-42页
        2.5.4 力学性能试验方法第42页
    2.6 小结第42-44页
第三章 砂轮材料设计与性能研究第44-83页
    3.1 原材料第44-45页
    3.2 金刚石磨料和氧化铝辅助磨料优选第45-53页
        3.2.1 几种金刚石磨料粒径及其分布的分析第45-49页
        3.2.2 不同晶型的金刚石磨料微观结构和颗粒强度分析第49-51页
        3.2.3 氧化铝辅助磨料粒径及其分布的分析第51-53页
    3.3 树脂粘结剂的制备及优选第53-72页
        3.3.1 BMI树脂粘结剂的制备与结构表征第53-57页
        3.3.2 几种BMI树脂粘结剂热性能和力学性能分析第57-60页
        3.3.3 造孔剂和填料种类对砂轮材料试样气孔结构和力学性能影响第60-66页
        3.3.4 树脂粘结剂试样的配方对其力学性能的影响第66-69页
        3.3.5 树脂砂轮材料试样的配方对其力学性能的影响第69-72页
    3.4 陶瓷粘结剂的制备及优选第72-82页
        3.4.1 多元陶瓷粘结剂的制备第73-74页
        3.4.2 几种陶瓷粘结剂热性能和力学性能分析第74-77页
        3.4.3 造孔剂含量对陶瓷砂轮材料试样力学性能的影响第77-79页
        3.4.4 陶瓷砂轮材料试样的配方对其力学性能的影响第79-82页
    3.5 小结第82-83页
第四章 砂轮磨削性能试验研究第83-110页
    4.1 砂轮试样配方设计和磨削试验方法第83-86页
        4.1.1 砂轮试样配方设计第83-84页
        4.1.2 磨削试验设备第84-85页
        4.1.3 磨削试验方法第85-86页
    4.2 砂轮试样的材料特性对其磨削性能的影响第86-97页
        4.2.1 金刚石粒径对砂轮磨削性能的影响第86-88页
        4.2.2 金刚石晶型对砂轮磨削性能的影响第88-91页
        4.2.3 粘结剂种类对砂轮磨削性能的影响第91-94页
        4.2.4 造孔剂含量对砂轮磨削性能的影响第94-97页
    4.3 砂轮磨削机理分析第97-107页
        4.3.1 硅片试样表面分析第97-99页
        4.3.2 砂轮试样表面分析第99-102页
        4.3.3 硅片磨削机理分析第102-107页
    4.4 砂轮试样应用试验第107-108页
    4.5 小结第108-110页
第五章 结论第110-112页
参考文献第112-120页
作者在攻读博士学位期间公开发表的论文与申请专利第120-121页
作者在攻读博士学位期间负责(或参加)科研项目第121-122页
致谢第122-123页

论文共123页,点击 下载论文
上一篇:江汉平原新农村建设中生态环境可持续发展研究
下一篇:基于景观生态学的古村落现状分析及其土地整治策略研究--以南漳县漫云村为例