摘要 | 第6-8页 |
Abstract | 第8-9页 |
第一章 绪论 | 第12-29页 |
1.1 砂轮材料研究进展 | 第13-19页 |
1.1.1 砂轮粘结剂 | 第13-16页 |
1.1.2 金刚石磨料 | 第16-17页 |
1.1.3 砂轮造孔剂 | 第17-18页 |
1.1.4 砂轮特定填料 | 第18-19页 |
1.2 砂轮制造工艺研究进展 | 第19-22页 |
1.2.1 超细物料混合工艺 | 第19-20页 |
1.2.2 精密砂轮成型工艺 | 第20-21页 |
1.2.3 砂轮后热处理工艺 | 第21-22页 |
1.3 砂轮磨削试验和磨削机理研究进展 | 第22-26页 |
1.3.1 砂轮磨削试验 | 第22-24页 |
1.3.2 硅片磨削机理 | 第24-26页 |
1.4 研究意义和主要研究内容及创新点 | 第26-29页 |
1.4.1 研究意义 | 第26-27页 |
1.4.2 主要研究内容 | 第27-28页 |
1.4.3 创新点 | 第28-29页 |
第二章 试样制备工艺及试验方法 | 第29-44页 |
2.1 试样混料工艺 | 第29-32页 |
2.1.1 树脂试样混料工艺 | 第29-30页 |
2.1.2 陶瓷试样混料工艺 | 第30-32页 |
2.2 试样压制工艺 | 第32-35页 |
2.2.1 树脂试样压制工艺 | 第32-33页 |
2.2.2 陶瓷砂轮压制工艺 | 第33-35页 |
2.2.3 力学性能测试试样 | 第35页 |
2.3 试样后热处理工艺 | 第35-37页 |
2.3.1 树脂试样二次固化工艺 | 第36页 |
2.3.2 陶瓷试样烧结工艺 | 第36-37页 |
2.4 砂轮试样修整工艺 | 第37-40页 |
2.4.1 修整工艺参数 | 第37-39页 |
2.4.2 砂轮试样精度评价 | 第39-40页 |
2.5 砂轮材料性能试验方法 | 第40-42页 |
2.5.1 结构分析方法 | 第40-41页 |
2.5.2 气孔测试方法 | 第41页 |
2.5.3 热性能分析方法 | 第41-42页 |
2.5.4 力学性能试验方法 | 第42页 |
2.6 小结 | 第42-44页 |
第三章 砂轮材料设计与性能研究 | 第44-83页 |
3.1 原材料 | 第44-45页 |
3.2 金刚石磨料和氧化铝辅助磨料优选 | 第45-53页 |
3.2.1 几种金刚石磨料粒径及其分布的分析 | 第45-49页 |
3.2.2 不同晶型的金刚石磨料微观结构和颗粒强度分析 | 第49-51页 |
3.2.3 氧化铝辅助磨料粒径及其分布的分析 | 第51-53页 |
3.3 树脂粘结剂的制备及优选 | 第53-72页 |
3.3.1 BMI树脂粘结剂的制备与结构表征 | 第53-57页 |
3.3.2 几种BMI树脂粘结剂热性能和力学性能分析 | 第57-60页 |
3.3.3 造孔剂和填料种类对砂轮材料试样气孔结构和力学性能影响 | 第60-66页 |
3.3.4 树脂粘结剂试样的配方对其力学性能的影响 | 第66-69页 |
3.3.5 树脂砂轮材料试样的配方对其力学性能的影响 | 第69-72页 |
3.4 陶瓷粘结剂的制备及优选 | 第72-82页 |
3.4.1 多元陶瓷粘结剂的制备 | 第73-74页 |
3.4.2 几种陶瓷粘结剂热性能和力学性能分析 | 第74-77页 |
3.4.3 造孔剂含量对陶瓷砂轮材料试样力学性能的影响 | 第77-79页 |
3.4.4 陶瓷砂轮材料试样的配方对其力学性能的影响 | 第79-82页 |
3.5 小结 | 第82-83页 |
第四章 砂轮磨削性能试验研究 | 第83-110页 |
4.1 砂轮试样配方设计和磨削试验方法 | 第83-86页 |
4.1.1 砂轮试样配方设计 | 第83-84页 |
4.1.2 磨削试验设备 | 第84-85页 |
4.1.3 磨削试验方法 | 第85-86页 |
4.2 砂轮试样的材料特性对其磨削性能的影响 | 第86-97页 |
4.2.1 金刚石粒径对砂轮磨削性能的影响 | 第86-88页 |
4.2.2 金刚石晶型对砂轮磨削性能的影响 | 第88-91页 |
4.2.3 粘结剂种类对砂轮磨削性能的影响 | 第91-94页 |
4.2.4 造孔剂含量对砂轮磨削性能的影响 | 第94-97页 |
4.3 砂轮磨削机理分析 | 第97-107页 |
4.3.1 硅片试样表面分析 | 第97-99页 |
4.3.2 砂轮试样表面分析 | 第99-102页 |
4.3.3 硅片磨削机理分析 | 第102-107页 |
4.4 砂轮试样应用试验 | 第107-108页 |
4.5 小结 | 第108-110页 |
第五章 结论 | 第110-112页 |
参考文献 | 第112-120页 |
作者在攻读博士学位期间公开发表的论文与申请专利 | 第120-121页 |
作者在攻读博士学位期间负责(或参加)科研项目 | 第121-122页 |
致谢 | 第122-123页 |