| 中文摘要 | 第4-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 透明导电薄膜研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2 IZO薄膜的制备方法 | 第13页 |
| 1.2.1 脉冲激光沉积法（PLD） | 第13页 |
| 1.2.2 分子束外延法（MBE） | 第13页 |
| 1.2.3 磁控溅射法（magnetron sputtering） | 第13页 |
| 1.2.4 溶胶凝胶法（sol-gel） | 第13页 |
| 1.2.5 其他技术 | 第13页 |
| 1.3 本论文的选题依据与创新点 | 第13-16页 |
| 第二章 溶胶凝胶法（sol-gel）以及实验测试介绍 | 第16-25页 |
| 2.1 Sol-gel法介绍 | 第16-18页 |
| 2.1.1 Sol-gel法的发展历程 | 第16页 |
| 2.1.2 Sol-gel法的优势和劣势 | 第16-17页 |
| 2.1.3 Sol-gel法的原理 | 第17页 |
| 2.1.4 Sol-gel法的涂覆方法 | 第17-18页 |
| 2.2 本论文采用的溶胶凝胶法 | 第18-19页 |
| 2.3 本论文实验测试手段及原理 | 第19-25页 |
| 2.3.1 X-射线衍射 | 第19-20页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜 | 第20-21页 |
| 2.3.3 霍尔效应测试 | 第21-22页 |
| 2.3.4 紫外-可见光吸收光谱 | 第22-23页 |
| 2.3.5 傅立叶-红外吸收光谱 | 第23-25页 |
| 第三章 溶胶凝胶法制备非晶IZO薄膜工艺条件优化 | 第25-33页 |
| 3.1 样品的制备 | 第25-26页 |
| 3.1.1 IZO前驱溶胶的制备 | 第25页 |
| 3.1.2 IZO薄膜的制备 | 第25-26页 |
| 3.2 不同In、Zn比例的实验结果与分析 | 第26-29页 |
| 3.2.1 物相结构分析 | 第26-27页 |
| 3.2.2 光学性质分析 | 第27-28页 |
| 3.2.3 电学性质分析 | 第28-29页 |
| 3.3 不同退火温度的实验结果与分析 | 第29-31页 |
| 3.3.1 物相结构分析 | 第29-30页 |
| 3.3.2 光学性质分析 | 第30-31页 |
| 3.3.3 电学性质分析 | 第31页 |
| 3.4 本章小结 | 第31-33页 |
| 第四章 深紫外激光辐照对非晶IZO薄膜光电性质的影响 | 第33-46页 |
| 4.1 处理过程 | 第33页 |
| 4.2 激光辐照前后实验结果分析 | 第33-45页 |
| 4.2.1 激光辐照前后物相结构分析 | 第33-34页 |
| 4.2.2 激光辐照前后光学性质分析 | 第34-35页 |
| 4.2.3 激光辐照前后电学性质分析 | 第35-45页 |
| 4.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 结论 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 在学期间公开发表论文及著作情况 | 第52页 |
