SPM针尖制备技术研究及应用
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 综述 | 第9-20页 |
| 1.1 论文的研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 扫描探针显微镜概述 | 第10-13页 |
| 1.2.1 扫描隧道显微镜概述 | 第10-11页 |
| 1.2.2 原子力显微镜概述 | 第11-13页 |
| 1.3 SPM探针制备技术国内外研究现状 | 第13-18页 |
| 1.3.1 SPM探针关键性分析 | 第13页 |
| 1.3.2 探针制备技术国内外研究现状 | 第13-17页 |
| 1.3.3 音叉式原子力显微镜测头研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4 论文的研究内容及组织结构 | 第18-20页 |
| 第二章 SPM探针制备控制系统设计与分析 | 第20-36页 |
| 2.1 探针制备电化学腐蚀法 | 第20-25页 |
| 2.2 SPM探针制备系统总体方案设计 | 第25-26页 |
| 2.3 机械结构设计与分析 | 第26-29页 |
| 2.3.1 总体结构设计 | 第26-27页 |
| 2.3.2 底座及支撑结构设计 | 第27页 |
| 2.3.3 电化学反应池固定与定位结构设计 | 第27页 |
| 2.3.4 钨丝夹持器设计 | 第27-28页 |
| 2.3.5 钨丝定位结构设计 | 第28-29页 |
| 2.4 控制系统设计与分析 | 第29-35页 |
| 2.4.1 系统硬件的分析与选型 | 第29-30页 |
| 2.4.2 控制电路的确定 | 第30-33页 |
| 2.4.3 软件控制系统 | 第33-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 SPM探针制备实验 | 第36-46页 |
| 3.1 探针制备要求及特征参数 | 第36页 |
| 3.2 静态电化学腐蚀法最佳参数确定 | 第36-43页 |
| 3.2.1 断电时间的影响 | 第37-39页 |
| 3.2.2 电解液浓度的影响 | 第39-40页 |
| 3.2.3 电解电压的影响 | 第40-41页 |
| 3.2.4 浸没深度的影响 | 第41-43页 |
| 3.3 动态电化学制备探针 | 第43-45页 |
| 3.3.1 多直径探针制备 | 第43-44页 |
| 3.3.2 可控圆锥形探针制备 | 第44-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 自制探针在音叉式AFM上的应用 | 第46-59页 |
| 4.1 音叉式AFM测头结构 | 第46-47页 |
| 4.1.1 探针粘接系统 | 第46-47页 |
| 4.1.2 音叉式AFM测头组成 | 第47页 |
| 4.2 前置放大电路 | 第47-50页 |
| 4.3 测头性能测试 | 第50-56页 |
| 4.3.1 扫频测试 | 第51-52页 |
| 4.3.2 力曲线测试 | 第52-56页 |
| 4.4 高定向热解石墨标样测试与分析 | 第56-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结和展望 | 第59-61页 |
| 5.1 论文总结 | 第59-60页 |
| 5.2 论文展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 发表的学术论文 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
