基于法拉第效应的激光外差干涉三自由度测量方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 综述 | 第9-18页 |
| 1.1 论文的研究背景与意义 | 第9页 |
| 1.2 三自由度(X-Y-θ)测量方法研究现状 | 第9-16页 |
| 1.3 论文的研究内容与组织结构 | 第16-18页 |
| 第二章 三自由度测量方案设计及理论分析 | 第18-30页 |
| 2.1 法拉第效应及线偏振光逆返方法 | 第18-19页 |
| 2.2 三自由度测量系统方案设计 | 第19-21页 |
| 2.3 三自由度同时测量方法的理论分析 | 第21-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 信号处理系统设计 | 第30-40页 |
| 3.1 信号处理方案总体设计 | 第30页 |
| 3.2 硬件处理电路 | 第30-34页 |
| 3.2.1 光电探测器 | 第30-31页 |
| 3.2.2 信号预处理电路 | 第31-32页 |
| 3.2.3 基于FPGA的数字信号处理 | 第32-34页 |
| 3.3 系统软件设计 | 第34-39页 |
| 3.3.1 三自由度数据的获取 | 第37-38页 |
| 3.3.2 精密平台的自动化运动控制 | 第38-39页 |
| 3.3.3 三自由度数据的记录 | 第39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 系统测量误差分析 | 第40-59页 |
| 4.1 非线性误差分析 | 第40-48页 |
| 4.1.1 三自由度测量系统非线性误差来源 | 第40-42页 |
| 4.1.2 三自由度测量系统非线性误差分析 | 第42-45页 |
| 4.1.3 三自由度测量系统非线性误差讨论 | 第45-48页 |
| 4.2 组合反射镜运动状态对光程的影响分析 | 第48-51页 |
| 4.2.1 沿X轴运动对光程的影响 | 第48-49页 |
| 4.2.2 沿Y轴运动对光程的影响 | 第49-51页 |
| 4.3 干涉模块运动状态对光程的影响分析 | 第51-53页 |
| 4.3.1 沿X轴运动对光程的影响 | 第51-52页 |
| 4.3.2 沿Y轴运动对光程的影响 | 第52-53页 |
| 4.4 系统的测量不确定度评估 | 第53-58页 |
| 4.4.1 X方向位移的测量不确定度 | 第53-56页 |
| 4.4.2 Y方向位移的测量不确定度 | 第56-57页 |
| 4.4.3 偏摆角θ的测量不确定度 | 第57-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 实验及结果分析 | 第59-69页 |
| 5.1 三自由度测量系统实验装置的构建 | 第59-60页 |
| 5.2 系统稳定性实验 | 第60-61页 |
| 5.3 单参数测量与比对实验 | 第61-64页 |
| 5.3.1 位移比对实验 | 第61-63页 |
| 5.3.2 角度比对实验 | 第63-64页 |
| 5.4 三自由度同时测量实验 | 第64-68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 6.1 论文总结 | 第69-70页 |
| 6.1.1 主要创新点 | 第69页 |
| 6.1.2 完成的具体工作 | 第69-70页 |
| 6.2 论文展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 攻读学位期间研究成果 | 第77页 |
