微小零件平面度精密测量装置研究与设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 主要符号表 | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| ·研究课题意义 | 第8页 |
| ·平面度检测技术发展现状 | 第8-18页 |
| ·研究的主要内容 | 第18-19页 |
| 2 测量系统机械结构设计 | 第19-28页 |
| ·导轨类型 | 第19-20页 |
| ·基于柔性铰链的柔性导向机构 | 第20-22页 |
| ·柔性铰链原理特性 | 第20-21页 |
| ·柔性导向机构 | 第21-22页 |
| ·测量装置导向结构设计 | 第22-24页 |
| ·导向机构刚度分析 | 第24-25页 |
| ·测头结构设计 | 第25-26页 |
| ·装置整体结构设计 | 第26-28页 |
| 3 测头电路设计 | 第28-44页 |
| ·检测电路总体方案设计 | 第28页 |
| ·模拟电路设计 | 第28-38页 |
| ·模拟电路设计 | 第28-31页 |
| ·LVDT传感器信号调理 | 第31-36页 |
| ·模数转换电路 | 第36-38页 |
| ·数字电路部分 | 第38-39页 |
| ·STC12C5A单片机电路 | 第38-39页 |
| ·RS232与上位机通信 | 第39页 |
| ·电源设计 | 第39-41页 |
| ·开关电源 | 第40页 |
| ·线性电源 | 第40-41页 |
| ·PCB板设计 | 第41-42页 |
| ·程序设计 | 第42-44页 |
| 4 实验结果与分析 | 第44-60页 |
| ·直线度误差评定方法 | 第44-47页 |
| ·平面度误差评定方法 | 第47-49页 |
| ·测头精度测试 | 第49-51页 |
| ·扭簧表对照实验原理 | 第49-50页 |
| ·测头读数与位移量对应关系 | 第50-51页 |
| ·导向精度测试 | 第51-55页 |
| ·x轴向导向精度测试 | 第51-53页 |
| ·y轴向导向精度测试 | 第53-55页 |
| ·平面度测量装置标定 | 第55-60页 |
| ·测量装置标定实验 | 第55-58页 |
| ·不确定度分析 | 第58-60页 |
| 5 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
