旋转磁控管溅射系统辅助磁极设计方法的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 引言 | 第7-18页 |
| ·课题背景及意义 | 第7-8页 |
| ·国内外磁控溅射系统的研究进展 | 第8-16页 |
| ·磁控溅射系统主磁场 | 第8-13页 |
| ·磁控溅射系统辅助磁场 | 第13-14页 |
| ·磁控溅射系统磁场研究方法 | 第14-16页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第16-18页 |
| 第2章 磁控溅射系统辅助磁场分析方法的研究 | 第18-39页 |
| ·单线圈计算模型 | 第18-23页 |
| ·原始模型 | 第18-19页 |
| ·拓展模型 | 第19-20页 |
| ·磁场分布表达式 | 第20-23页 |
| ·轴向磁场计算 | 第23-26页 |
| ·线圈平行平面 | 第23-25页 |
| ·线圈轴线 | 第25-26页 |
| ·磁控溅射系统仿真计算模型 | 第26-27页 |
| ·圆环线圈辅助磁极 | 第27-30页 |
| ·圆环线圈辅助磁极模型 | 第27-29页 |
| ·圆环线圈辅助磁极模型轴向磁场分布 | 第29-30页 |
| ·圆弧线圈辅助磁极 | 第30-37页 |
| ·圆弧线圈辅助磁极模型 | 第30-32页 |
| ·不同通电组合对轴向磁场分布的影响 | 第32-35页 |
| ·划分段数对轴向磁场分布的影响 | 第35-37页 |
| ·通电电流对轴向磁场分布的影响 | 第37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第3章 磁控溅射系统仿真平台的研究 | 第39-49页 |
| ·磁控溅射系统仿真平台的建立 | 第39-41页 |
| ·平台功能 | 第39-40页 |
| ·仿真流程 | 第40-41页 |
| ·磁控溅射系统验证实验 | 第41-48页 |
| ·高频电磁场（PECVD腔室） | 第41-46页 |
| ·低频电磁场（磁控溅射腔室） | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 磁控溅射系统仿真实验研究 | 第49-72页 |
| ·C形磁控管磁控溅射系统模型 | 第49-50页 |
| ·轴向磁场静态形貌仿真计算 | 第50-67页 |
| ·辅助磁极静态参数设置 | 第50页 |
| ·轴向磁场分布计算及优化结果 | 第50-66页 |
| ·有限元仿真验证 | 第66-67页 |
| ·轴向磁场运动规律仿真研究 | 第67-70页 |
| ·单个辅助磁极圆弧线圈通电规律 | 第67-69页 |
| ·多个辅助磁极圆弧线圈通电规律 | 第69-70页 |
| ·误差分析 | 第70页 |
| ·实验系统设计 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第5章 磁控溅射系统辅助磁极匹配方法研究 | 第72-80页 |
| ·磁控溅射系统辅助磁极匹配方法 | 第72-73页 |
| ·磁控管匹配方法典型应用实例 | 第73-79页 |
| ·椭圆形磁控管 | 第73-77页 |
| ·三角形磁控管 | 第77-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第6章 总结与展望 | 第80-82页 |
| ·论文主要工作总结 | 第80页 |
| ·研究前景与展望 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-86页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第86-87页 |
