脉冲真空弧离子源等离子体参数诊断研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-17页 |
| ·离子源及其发展简介 | 第8页 |
| ·真空弧离子源及其发展简介 | 第8-9页 |
| ·真空弧离子源的国内外研究现状 | 第9-13页 |
| ·真空弧放电阴极斑模型 | 第9-10页 |
| ·真空弧放电离子扩散速度理论及实验 | 第10-11页 |
| ·真空弧离子源放电等离子体参数诊断 | 第11-13页 |
| ·离子源结构及等离子体区域划分 | 第13-16页 |
| ·离子源结构及其工作方式 | 第13-14页 |
| ·离子源的等离子体区域划分 | 第14-16页 |
| ·论文主要内容 | 第16-17页 |
| 第二章 诊断方法和计算模型 | 第17-32页 |
| ·静电探针诊断原理 | 第17-23页 |
| ·单探针诊断原理 | 第18-20页 |
| ·双探针诊断原理 | 第20-23页 |
| ·光谱诊断原理 | 第23-27页 |
| ·等离子体光谱产生机制 | 第23-25页 |
| ·谱线展宽 | 第25页 |
| ·电子温度测量 | 第25-26页 |
| ·电子密度测量 | 第26-27页 |
| ·冻结模型 | 第27-32页 |
| ·模型概述 | 第27-29页 |
| ·修正的多成分沙哈方程组 | 第29-32页 |
| 第三章 探针诊断及结果 | 第32-43页 |
| ·探针诊断实验平台 | 第32-33页 |
| ·偏压平板诊断 | 第33-35页 |
| ·实验布局与诊断方法 | 第33-35页 |
| ·数据处理与结果分析 | 第35页 |
| ·单探针诊断 | 第35-38页 |
| ·实验布局与诊断方法 | 第36-37页 |
| ·数据处理与结果分析 | 第37-38页 |
| ·双探针诊断 | 第38-41页 |
| ·实验布局与诊断方法 | 第38-40页 |
| ·数据处理与结果分析 | 第40-41页 |
| ·探针诊断小结 | 第41-43页 |
| 第四章 光谱诊断及结果 | 第43-52页 |
| ·光谱诊断实验平台 | 第43-44页 |
| ·光谱诊断数据处理与结果分析 | 第44-50页 |
| ·系统的响应系数标定 | 第44-45页 |
| ·电子温度计算分析 | 第45-47页 |
| ·电子密度计算分析 | 第47-50页 |
| ·电子温度与电子密度随弧流变化规律 | 第50页 |
| ·光谱诊断小结 | 第50-52页 |
| 第五章 冻结模型计算结果 | 第52-58页 |
| ·修正的多成分沙哈方程组解法 | 第52-53页 |
| ·计算结果 | 第53-56页 |
| ·电荷态分布计算结果 | 第53-54页 |
| ·电子温度对离子平均电荷态的影响 | 第54-55页 |
| ·实验CSD与模型计算校核结果 | 第55-56页 |
| ·冻结模型计算小结 | 第56-58页 |
| 总结 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 附录 | 第64页 |
